Aktualności

Obróbka powierzchniowa dla wysokiej klasy uchwytu elektrostatycznego

Uchwyt elektrostatyczny spełnia wiele funkcji, takich jak równomierne wyładowanie elektrostatyczne, przewodzenie ciepła oraz adsorpcja i utrwalanie płytek w dziedzinie produkcji półprzewodników. Jedną z podstawowych funkcji ESC jest stabilna adsorbcja płytek w ekstremalnych warunkach pracy, takich j......

Co to jest proces dopingowy?

Przy produkcji płytek o ultrawysokiej czystości, płytki muszą osiągnąć standard czystości ponad 99,999999999%, aby zapewnić podstawowe właściwości półprzewodników. Paradoksalnie, aby uzyskać funkcjonalną konstrukcję układów scalonych, należy lokalnie wprowadzić na powierzchnię płytek określone zanie......

Ceramiczny uchwyt próżniowy

Ceramiczne uchwyty próżniowe wykonane są z porowatych materiałów ceramicznych o równomiernym rozkładzie wielkości porów i wewnętrznych połączeniach. Po szlifowaniu powierzchnia jest gładka i delikatna o dobrej płaskości. Są szeroko stosowane w produkcji płytek półprzewodnikowych, takich jak krzem, s......

Na jakie wskaźniki należy zwrócić uwagę przy wyborze odpowiednich wafli?

Dobór płytek ma znaczący wpływ na rozwój i produkcję urządzeń półprzewodnikowych. Przy wyborze płytek należy kierować się wymaganiami konkretnych scenariuszy zastosowań i należy je dokładnie ocenić, korzystając z następujących kluczowych wskaźników.

Komponenty silikonowe do trawienia na sucho

Sprzęt do trawienia na sucho nie wykorzystuje do trawienia mokrych środków chemicznych. Wprowadza przede wszystkim gazowy środek trawiący do komory poprzez górną elektrodę z małymi otworami przelotowymi. Pole elektryczne generowane przez górną i dolną elektrodę jonizuje gazowy środek trawiący, który......

Różnica między obojętnymi, badawczymi i produkcyjnymi podłożami SiC