Produkcja półprzewodników, kamień węgielny współczesnego postępu technologicznego, nieustannie poszukuje mniejszych, szybszych i wydajniejszych układów scalonych. To nieustające dążenie napędza potrzebę stosowania coraz bardziej precyzyjnych i wyrafinowanych procesów produkcyjnych, w których każdy e......
Czytaj więcejUchwyty elektrostatyczne (ESC) stały się niezbędne w produkcji półprzewodników i wyświetlaczy płaskich, oferując pozbawioną uszkodzeń, wysoce kontrolowaną metodę mocowania i pozycjonowania delikatnych płytek i substratów podczas krytycznych etapów przetwarzania. Artykuł ten zagłębia się w zawiłości ......
Czytaj więcejRozwój 3C-SiC, ważnego politypu węglika krzemu, odzwierciedla ciągły postęp nauki o materiałach półprzewodnikowych. W latach 80. Nishino i in. po raz pierwszy uzyskano warstwę 3C-SiC o grubości 4 μm na podłożu krzemowym za pomocą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD)[1], kładąc podwaliny pod te......
Czytaj więcej