Nośnik SiC Coated firmy Semicorex do systemu trawienia plazmowego ICP to niezawodne i ekonomiczne rozwiązanie do procesów obróbki płytek w wysokiej temperaturze, takich jak epitaksja i MOCVD. Nasze nośniki posiadają drobną powłokę krystaliczną SiC, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną i trwałą odporność chemiczną.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor firmy Semicorex pokryty węglikiem krzemu do plazmy indukcyjnie sprzężonej (ICP) został zaprojektowany specjalnie do procesów przenoszenia płytek w wysokiej temperaturze, takich jak epitaksja i MOCVD. Dzięki stabilnej odporności na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1600°C nasze nośniki zapewniają równomierne profile termiczne, laminarny przepływ gazu oraz zapobiegają dyfuzji zanieczyszczeń.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt na płytki do trawienia ICP firmy Semicorex to idealne rozwiązanie do procesów obróbki płytek w wysokiej temperaturze, takich jak epitaksja i MOCVD. Dzięki stabilnej odporności na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1600°C nasze nośniki zapewniają równomierne profile termiczne, laminarny przepływ gazu oraz zapobiegają dyfuzji zanieczyszczeń.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta nośna ICP Etching Carrier Plate firmy Semicorex to idealne rozwiązanie do wymagających zastosowań waflowych i procesów osadzania cienkich warstw. Nasz produkt zapewnia doskonałą odporność na ciepło i korozję, a nawet równomierność termiczną i laminarny przepływ gazu. Dzięki czystej i gładkiej powierzchni nasz nośnik idealnie nadaje się do przenoszenia nieskazitelnych wafli.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt do płytek Semicorex do procesu trawienia ICP to idealny wybór do wymagających procesów przenoszenia płytek i osadzania cienkich warstw. Nasz produkt charakteryzuje się doskonałą odpornością na ciepło i korozję, równomierną jednorodnością termiczną oraz optymalnymi wzorcami laminarnego przepływu gazu, co zapewnia spójne i niezawodne wyniki.
Czytaj więcejWyślij zapytanieGrafit ICP Silicon Carbon Coated Graphite firmy Semicorex to idealny wybór do wymagających procesów przenoszenia płytek i osadzania cienkowarstwowego. Nasz produkt charakteryzuje się doskonałą odpornością na ciepło i korozję, równomierną jednorodnością termiczną i optymalnymi wzorami laminarnego przepływu gazu.
Czytaj więcejWyślij zapytanie