Semicorex oferuje łodzie waflowe, cokoły i niestandardowe nośniki płytek w konfiguracjach pionowych/kolumnowych i poziomych. Od wielu lat jesteśmy producentem i dostawcą folii z węglika krzemu. Nasza łódź waflowa Batch ma dobrą przewagę cenową i obejmuje większość rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Łódki Semicorex Batch Wafer Boat są wykonane z wysokiej jakości materiału ceramicznego z węglika krzemu, zapewniającego doskonałą odporność chemiczną i stabilność termiczną.
Nasza łódka waflowa Batch ma gładkie wykończenie powierzchni i zapewnia doskonałe wsparcie i ochronę wafla podczas przetwarzania. Powłoka SiC zapewnia jednorodność i stabilność podczas przetwarzania, chroniąc wafle przed zanieczyszczeniem i uszkodzeniem. Dzięki doskonałej przewodności cieplnej i doskonałej wytrzymałości mechanicznej nasze uchwyty na płytki zapewniają spójne i niezawodne wyniki.
Nasz zespół ekspertów dokłada wszelkich starań, aby zapewnić najlepszą jakość i obsługę. Oferujemy niestandardowe projekty spełniające Twoje specyficzne wymagania, a nasze łodzie waflowe wsadowe są objęte naszym programem zapewnienia jakości.
Parametry łodzi waflowej wsadowej
Właściwości techniczne |
||||
Indeks |
Jednostka |
Wartość |
||
Nazwa materiału |
Reakcyjny spiekany węglik krzemu |
Bezciśnieniowy spiekany węglik krzemu |
Rekrystalizowany węglik krzemu |
|
Kompozycja |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Gęstość nasypowa |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Wytrzymałość na zginanie |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Wytrzymałość na ściskanie |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Twardość |
Przycisk |
2700 |
2800 |
/ |
Przełamanie wytrzymałości |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Przewodność cieplna |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Ciepło właściwe |
Dżul/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maksymalna temperatura powietrza |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Moduł sprężystości |
GP |
360 |
410 |
240 |
Różnica między SSiC i RBSiC:
1. Proces spiekania jest inny. RBSiC polega na infiltracji wolnego Si do węglika krzemu w niskiej temperaturze, SSiC powstaje w wyniku naturalnego skurczu w temperaturze 2100 stopni.
2. SSiC ma gładszą powierzchnię, większą gęstość i większą wytrzymałość. W przypadku niektórych uszczelnień o bardziej rygorystycznych wymaganiach dotyczących powierzchni lepszy będzie SSiC.
3. Różny czas użytkowania przy różnym PH i temperaturze, SSiC jest dłuższy niż RBSiC
Cechy łodzi waflowej Batch
- Wysoka wytrzymałość (twardość w skali Mohsa 9,5, ustępuje tylko diamentowi)
- Odporność na korozję pod wpływem kwasów, zasad, soli i rozpuszczalników organicznych
- Wysoka przewodność cieplna, odporność na plazmę, długa żywotność
- Półprzewodniki