Pokrywa komory z węglika krzemu

Pokrywa komory z węglika krzemu stosowana w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek musi wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu na dużą skalę w Chinach. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Pokrywa komory z węglika krzemu stosowana w hodowli monokryształów, MOCVD lub przetwarzaniu płytek musi wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcje grafitowe pokryte węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości, zapewniające doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi oraz trwałą odporność chemiczną. Są wytrzymałe na działanie lotnych gazów prekursorowych, plazmy i wysokiej temperatury.
Nasza pokrywa komory z węglika krzemu została zaprojektowana w celu uzyskania najlepszego laminarnego przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszej pokrywie komory z węglika krzemu.

Parametry pokrywy komory z węglika krzemu

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	um	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300