Podgrzewacz waflowy

Semicorex jest wielkoskalowym producentem i dostawcą susceptora grafitowego powlekanego węglikiem krzemu w Chinach. Koncentrujemy się na branżach półprzewodników, takich jak warstwy węglika krzemu i półprzewodniki epitaksyjne. Nasz podgrzewacz waflowy ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Semicorex Wafer Process Heater jest wykonany z grafitu Silicon Carbide Coating (SiC), powłoka jest nakładana metodą CVD na określone gatunki grafitu o dużej gęstości, dzięki czemu może pracować w piecu wysokotemperaturowym z ponad 3000 ° C w obojętnej atmosferze, 2200°C w próżni.
Specjalne właściwości i niewielka masa materiału, z którego wykonany jest podgrzewacz waflowy, umożliwiają szybkie nagrzewanie, równomierny rozkład temperatury i wyjątkową precyzję sterowania. W porównaniu z innymi materiałami powierzchnia węglika krzemu pozostaje płaska ze względu na niską rozszerzalność cieplną nawet podczas pracy przy szybkich zmianach temperatury. Płyty grzejne doskonale nadają się do wymagających procesów w systemach przetwarzania półprzewodników.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu naszym klientom wysokiej jakości, opłacalnych produktów. Nasz podgrzewacz waflowy ma przewagę cenową i jest eksportowany na wiele rynków europejskich i amerykańskich. Naszym celem jest bycie Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty o stałej jakości i wyjątkową obsługę klienta.

Parametry podgrzewacza waflowego

Specyfikacja techniczna	VET-M3
Gęstość nasypowa (g/cm3)	¥ ¥ 1,85
Zawartość popiołu (ppm)	¤500
Twardość Shore'a	¥ 45
Opór właściwy (Î¼.Î©.m)	¤12
Wytrzymałość na zginanie (Mpa)	¥40
Wytrzymałość na ściskanie (Mpa)	¥70
Maks. Wielkość ziarna (μm)	¤43
Współczynnik rozszerzalności cieplnej Mm/°C	¤4,4*10-6

Cechy podgrzewacza waflowego

- Powłoki CVD SiC poprawiające żywotność.
- Odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję, długa żywotność, może poprawić jakość i wydajność płytek.
- Ma wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, odporność na wysoką temperaturę, wysoką odporność na zużycie, dobrą izolację, dobrą stabilność chemiczną i prawie fioletową (czerwoną) penetrację światła widzialnego.

Możemy zapewnić tygiel grafitowy o długiej żywotności, formę grafitową i wszystkie części grzejnika grafitowego.