Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu na dużą skalę w Chinach. Koncentrujemy się na branżach półprzewodników, takich jak warstwy węglika krzemu i półprzewodniki epitaksyjne. Nasz podgrzewacz procesowy waflowy ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.
Nagrzewnica procesowa Semicorex Wafer wykonana jest z grafitu pokrytego węglikiem krzemu (SiC), powłoka jest nakładana metodą CVD na określone gatunki grafitu o dużej gęstości, dzięki czemu może pracować w piecu wysokotemperaturowym o temperaturze ponad 3000 ° C w atmosferze obojętnej, 2200°C w próżni.
Specjalne właściwości i niewielka masa materiału nagrzewnicy procesowej Wafer umożliwiają szybkie nagrzewanie, równomierny rozkład temperatury i wyjątkową precyzję sterowania. W porównaniu z innymi materiałami powierzchnia węglika krzemu pozostaje płaska ze względu na niską rozszerzalność cieplną, nawet podczas pracy przy szybkich zmianach temperatury. Płyty grzejne doskonale nadają się do wymagających procesów w systemach przetwarzania półprzewodników.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu naszym klientom opłacalnych produktów wysokiej jakości. Nasz podgrzewacz procesowy waflowy ma przewagę cenową i jest eksportowany na wiele rynków europejskich i amerykańskich. Naszym celem jest bycie Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty o stałej jakości i wyjątkową obsługę klienta.
Parametry nagrzewnicy procesowej waflowej
Specyfikacja techniczna |
VET-M3 |
Gęstość nasypowa (g/cm3) |
≥1,85 |
Zawartość popiołu (PPM) |
≤500 |
Twardość Shore’a |
≥45 |
Opór właściwy (μ.Ω.m) |
≤12 |
Wytrzymałość na zginanie (Mpa) |
≥40 |
Compressive Strength (Mpa) |
≥70 |
Maks. Wielkość ziarna (μm) |
≤43 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej Mm/°C |
≤4,4*10-6 |
Cechy nagrzewnicy procesowej waflowej
- Powłoki CVD SiC poprawiające żywotność.
- Odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję, długa żywotność, mogą poprawić jakość i wydajność płytek.
- Ma wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, odporność na wysoką temperaturę, wysoką odporność na zużycie, dobrą izolację, dobrą stabilność chemiczną i przenikanie światła widzialnego w pobliżu fioletu (czerwonego).
Możemy zapewnić tygiel grafitowy o działaniu przeciwutleniającym i o długiej żywotności, formę grafitową i wszystkie części grzejnika grafitowego.