Semicorex jest Twoim partnerem w zakresie zaawansowanych komponentów i zespołów grafitowych, aby zapewnić wyższą przepustowość i lepszą wydajność sprzętu do przetwarzania półprzewodników. Nasi eksperci ds. materiałów są gotowi do współpracy z Tobą w celu opracowania optymalnego rozwiązania spełniającego Twoje wymagania dotyczące obsługi, ogrzewania i przetwarzania płytek. Nasz Ceramic End Effector ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Ceramic End Effector to ręka robota, która przesuwa płytki półprzewodnikowe między pozycjami w urządzeniach do przetwarzania płytek i nośnikach. Efektor końcowy musi być precyzyjny wymiarowo i stabilny termicznie, a jednocześnie mieć gładką, odporną na ścieranie powierzchnię, aby bezpiecznie obsługiwać płytki bez uszkadzania urządzeń lub zanieczyszczenia cząstkami stałymi. Nasz ceramiczny efekt końcowy z węglika krzemu o wysokiej czystości zapewnia doskonałą odporność na ciepło, a nawet jednorodność termiczną, zapewniając stałą grubość i odporność warstwy epi oraz trwałą odporność chemiczną.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu wysokiej jakości, opłacalnych ceramicznych efektów końcowych, stawiamy na pierwszym miejscu zadowolenie klienta i zapewniamy opłacalne rozwiązania. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty wysokiej jakości i wyjątkową obsługę klienta.
Parametry ceramicznego efektora końcowego
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura krystaliczna |
Faza FCC β |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Wielkość ziarna |
μm |
2~10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Feleksualna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (zgięcie 4-punktowe, 1300°) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy ceramicznego efektora końcowego o wysokiej czystości
â Grafit powlekany SiC o wysokiej czystości
â Doskonała odporność na ciepło i jednorodność termiczna
â Powłoka z drobnego kryształu SiC zapewnia gładką powierzchnię
â Wysoka odporność na czyszczenie chemiczne
â Materiał jest zaprojektowany tak, aby nie dochodziło do pęknięć i rozwarstwień.