Ceramiczny efektor końcowy

Semicorex to Twój partner w zakresie zaawansowanych komponentów i zespołów grafitowych zapewniających większą przepustowość i lepszą wydajność sprzętu do przetwarzania półprzewodników. Nasi eksperci ds. materiałów są gotowi współpracować z Tobą w celu opracowania optymalnego rozwiązania spełniającego Twoje wymagania w zakresie obsługi, ogrzewania i przetwarzania płytek. Nasz ceramiczny efektor końcowy ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Ceramic End Effector to ręka robota, która przenosi płytki półprzewodnikowe pomiędzy pozycjami w sprzęcie do przetwarzania płytek i nośnikach. Efektor końcowy musi być precyzyjny pod względem wymiarów i stabilny termicznie, a jednocześnie mieć gładką, odporną na ścieranie powierzchnię, aby bezpiecznie przenosić płytki bez uszkadzania urządzeń lub powodowania zanieczyszczeń cząstkami stałymi. Nasz ceramiczny efektor końcowy z węglika krzemu o wysokiej czystości zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi oraz trwałą odporność chemiczną.

At Semicorex, we focus on providing high-quality, cost-effective Ceramic End Effector, we prioritize customer satisfaction and provide cost-effective solutions. We look forward to becoming your long-term partner, delivering high-quality products and exceptional customer service.

Parametry ceramicznego efektora końcowego

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300