Semicorex jest dużym producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu w Chinach. Dostarczamy grzejniki, tygle wsporcze, osłony termiczne i elementy izolacyjne do procesów i materiałów do hodowli monokryształów. Koncentrujemy się na przemyśle półprzewodnikowym, nasz podgrzewacz płytek krzemowych ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.
Semicorex Silicon Wafer Heater jest pokryty węglikiem krzemu za pomocą MOCVD, który może pracować w piecu wysokotemperaturowym do ponad 3000°C w atmosferze obojętnej, 2200°C w próżni. Powłoka SiC to gęsta, odporna na zużycie powłoka z węglika krzemu (SiC).
Nasz grzejnik waflowy krzemowy ma wysokie właściwości odporności na korozję i ciepło, a także doskonałe przewodnictwo cieplne. SiC nakładamy cienkimi warstwami na grafit za pomocą procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu naszym klientom wysokiej jakości, opłacalnych produktów. Nasz podgrzewacz płytek krzemowych ma przewagę cenową i jest eksportowany na wiele rynków europejskich i amerykańskich. Naszym celem jest bycie Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty o stałej jakości i wyjątkową obsługę klienta.
Parametry podgrzewacza płytek krzemowych
Specyfikacja techniczna |
VET-M3 |
Gęstość nasypowa (g/cm3) |
¥ ¥ 1,85 |
Zawartość popiołu (ppm) |
¤500 |
Twardość Shore'a |
¥ 45 |
Opór właściwy (μ.Ω.m) |
¤12 |
Wytrzymałość na zginanie (Mpa) |
¥40 |
Wytrzymałość na ściskanie (Mpa) |
¥70 |
Maks. Wielkość ziarna (μm) |
¤43 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej Mm/°C |
¤4,4*10-6 |
Cechy podgrzewacza wafli krzemowych
- Powłoki z węglika krzemu stosowane metodą CVD w celu poprawy żywotności.
- Izolacja termiczna wykonana z wysokowydajnego oczyszczonego sztywnego węgla.
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
- Powłoka z grafitu o wysokiej czystości i SiC zapewnia odporność na przebicia i dłuższą żywotność
Możemy zapewnić tygiel grafitowy o długiej żywotności, formę grafitową i wszystkie części grzejnika grafitowego.