Niestandardowe wiosło wspornikowe SiC

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle służy jako krytyczne połączenie pomiędzy systemem ładowania płytek a sercem pieca dyfuzyjnego, odpowiedzialnym za transport łódek z płytek kwarcowych lub SiC obciążonych płytkami krzemowymi do strefy przetwarzania w wysokiej temperaturze. Ich konstrukcja i właściwości materiałowe są szczegółowo zoptymalizowane pod kątem tego wymagającego zadania:

Solidna konstrukcja wspornikowa zapewniająca stabilny transport płytek:Konstrukcja wspornikowa, charakteryzująca się sztywnym ramieniem sięgającym do wnętrza pieca, zapewnia wyjątkową stabilność i precyzyjną kontrolę ruchu płytek. Zapewnia to płynny i wolny od wibracji transport, minimalizując ryzyko pęknięcia lub niewspółosiowości płytek podczas załadunku i rozładunku.

Wysoka nośność zapewniająca wydajne przetwarzanie wsadowe:Wrodzona wytrzymałość i sztywność ceramiki SiC pozwala, aby niestandardowe łopatki wspornikowe SiC wytrzymywały duże obciążenia płytek krzemowych, maksymalizując przepustowość każdego cyklu dyfuzji i przyczyniając się do wyższych wolumenów produkcji.

Precyzyjna kontrola wymiarowa zapewniająca bezproblemową integrację: Niestandardowe łopatki wspornikowe SiC są starannie wykonane zgodnie z precyzyjnymi specyfikacjami wymiarowymi, co zapewnia idealne dopasowanie do systemu pieca dyfuzyjnego i ułatwia bezproblemową integrację z automatycznymi robotami do obsługi płytek.

W szczególności wybór ceramiki SiCWęglik krzemu związany reakcją (RBSiC)ISpiekany węglik krzemu (SSiC), jako materiał wybierany na niestandardowe wiosła wspornikowe SiC, wynika z ich wyjątkowych właściwości użytkowych w środowiskach o wysokiej temperaturze:

Niezachwiana stabilność w wysokiej temperaturze: Niestandardowe łopatki wspornikowe SiC wykazują wyjątkową odporność na odkształcenia i pełzanie nawet w podwyższonych temperaturach (do 1600°C) występujących w piecach dyfuzyjnych. Zapewnia to spójne podparcie płytki i zapobiega zwiotczeniu lub zginaniu, które mogłoby zagrozić jednorodności płytki.

Wyjątkowa odporność na szok termiczny:Zdolność do wytrzymywania szybkich zmian temperatury bez uszkodzeń ma kluczowe znaczenie dla utrzymania integralności niestandardowej łopatki wspornikowej SiC podczas niezliczonych cykli dyfuzji. Ceramika SiC wyróżnia się pod tym względem, minimalizując ryzyko pęknięć lub pęknięć, które mogłyby prowadzić do kosztownych przestojów.

Niska rozszerzalność cieplna zapewniająca precyzyjne ustawienie:Minimalna rozszerzalność cieplna ceramiki SiC zapewnia, że ​​niestandardowe łopatki wspornikowe SiC zachowują stabilność wymiarową w szerokim zakresie temperatur występujących podczas pracy. Ma to kluczowe znaczenie dla utrzymania precyzyjnego ułożenia płytek w piecu, zapewniając równomierne ogrzewanie i spójne profile dyfuzji.