Efektory końcowe Semicorex do obsługi wafli są precyzyjne wymiarowo i stabilne termicznie do przetwarzania płytek. Od wielu lat jesteśmy producentem i dostawcą elementów powłokowych z węglika krzemu. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują większość rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Efektory końcowe Semicorex do obsługi płytek są precyzyjne wymiarowo i stabilne termicznie, a jednocześnie posiadają gładką, odporną na ścieranie powłokę CVD SiC, która pozwala bezpiecznie przenosić płytki bez uszkadzania urządzeń lub wytwarzania cząstek zanieczyszczeń, które mogą przenosić płytki półprzewodnikowe między pozycjami w sprzęcie do przetwarzania płytek i nośnikach precyzyjnie i skutecznie. Nasza powłoka z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości Efektor końcowy do obróbki płytek zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi oraz trwałej odporności chemicznej.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu naszym klientom opłacalnych produktów wysokiej jakości. Nasz efektor końcowy do obsługi płytek ma przewagę cenową i jest eksportowany na wiele rynków europejskich i amerykańskich. Naszym celem jest bycie Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty o stałej jakości i wyjątkową obsługę klienta.
Parametry efektora końcowego do obsługi płytek
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura kryształu |
Faza β FCC |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy efektora końcowego do obsługi płytek
Powłoka SiC o wysokiej czystości stosowana metodą CVD
Doskonała odporność na ciepło i jednorodność termiczna
Drobna powłoka kryształowa SiC zapewniająca gładką powierzchnię
Wysoka odporność na czyszczenie chemiczne
Materiał został tak zaprojektowany, aby nie dochodziło do pęknięć i rozwarstwień.