Epitaksyjna łódź waflowa

Semicorex oferuje łodzie waflowe, cokoły i niestandardowe nośniki płytek w konfiguracjach pionowych/kolumnowych i poziomych. Od wielu lat jesteśmy producentem i dostawcą folii z węglika krzemu. Nasza epitaksjalna łódź waflowa ma dobrą przewagę cenową i obejmuje większość rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Semicorex Epitaxis Wafer Boat, idealne rozwiązanie do przetwarzania płytek w produkcji półprzewodników. Nasze epitaksjalne łodzie waflowe są wykonane z wysokiej jakości ceramiki z węglika krzemu (SiC), która zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury i korozję chemiczną.
Nasza epitaksjalna łódka waflowa z węglika krzemu ma gładką powierzchnię, która minimalizuje wytwarzanie cząstek, zapewniając najwyższy poziom czystości Twoich produktów. Dzięki doskonałej przewodności cieplnej i doskonałej wytrzymałości mechanicznej nasze łodzie zapewniają spójne i niezawodne wyniki.
Nasze epitaksjalne łodzie waflowe są kompatybilne ze wszystkimi standardowymi urządzeniami do przetwarzania płytek i wytrzymują temperatury do 1600°C. Są łatwe w obsłudze i czyszczeniu, co czyni je opłacalnym i wydajnym wyborem dla Twoich potrzeb produkcyjnych.
Nasz zespół ekspertów dokłada wszelkich starań, aby zapewnić najlepszą jakość i obsługę. Oferujemy niestandardowe projekty spełniające Twoje specyficzne wymagania, a nasze produkty są objęte naszym programem zapewnienia jakości.

Parametry epitaksjalnej łodzi waflowej

Właściwości techniczne
Indeks	Jednostka	Wartość
Nazwa materiału		Reakcyjny spiekany węglik krzemu	Bezciśnieniowy spiekany węglik krzemu	Rekrystalizowany węglik krzemu
Kompozycja		RBSiC	SSiC	R-SiC
Gęstość nasypowa	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Wytrzymałość na zginanie	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Wytrzymałość na ściskanie	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Twardość	Przycisk	2700	2800	/
Przełamanie wytrzymałości	MPa m1/2	4.5	4	/
Przewodność cieplna	W/m.k	95	120	23
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Ciepło właściwe	Dżul/g 0k	0.8	0.67	/
Maksymalna temperatura powietrza	℃	1200	1500	1600
Moduł sprężystości	GP	360	410	240

Różnica między SSiC i RBSiC:

1. Proces spiekania jest inny. RBSiC polega na infiltracji wolnego Si do węglika krzemu w niskiej temperaturze, SSiC powstaje w wyniku naturalnego skurczu w temperaturze 2100 stopni.

2. SSiC ma gładszą powierzchnię, większą gęstość i większą wytrzymałość. W przypadku niektórych uszczelnień o bardziej rygorystycznych wymaganiach dotyczących powierzchni lepszy będzie SSiC.

3. Różny czas użytkowania przy różnym PH i temperaturze, SSiC jest dłuższy niż RBSiC

Cechy epitaksjalnej łodzi waflowej z węglika krzemu

Wysokiej czystości SiC pokryty MOCVD
Doskonała odporność na ciepło i jednorodność termiczna
Drobna powłoka kryształowa SiC zapewniająca gładką powierzchnię
Wysoka odporność na czyszczenie chemiczne
Materiał został tak zaprojektowany, aby nie dochodziło do pęknięć i rozwarstwień.