Poziome pieców komory

Łodzie SIC w poziomie półki do pieca komory to wysoce zintegrowana część, która utrzymuje i przenosi płytki lub substraty, podczas gdy są poddawane przetwarzaniu termicznym w wysokiej temperaturze w poziomym piecu komory. Łódź opłatek jest wykonana z wiązania o dużej czystości węglik krzemowy (sic), który zapewnia unikalną kombinację wytrzymałości, stabilności termicznej i wysokiej odporności chemicznej, które są wymagane w procesach półprzewodnikowych, fotowoltaicznych i zaawansowanych ceramiki. Łódź waflowa działa również jako sztywna struktura do utrzymywania wafle w pozycji, stabilność wymiarowa i precyzja waflów nie zostaną utracone przez rozszerzoną ekspozycję na ekstremalne temperatury procesu.

Najwyższe właściwości węgliku krzemowego zapewniają poziomy piec komorowy, sic łodzi o doskonałej przewagi wydajności w porównaniu z typowymi materiałami na łodzie opłat, takie jak kwarc lub tlenek glinu. Mogą lepiej wytrzymać rzadkie cykle ogrzewania i chłodzenia krótkoterminowego ze względu na ich wysoką temperaturę topnienia, odporność na wstrząsy termiczne i wytrzymałość mechaniczną, niezależnie od prędkości ogrzewania i chłodzenia lub ekstremalnych cyklu termicznego. Ponieważ poziomy piec opiera się całkowicie na spójności pozycji płytek i narażeniu warunków procesu, właściwe wyrównanie płytek zapewnia spójną wydajność i powtarzalność. Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej oznacza, że ​​łódź nie zniekształci jej życia i zapewni zachowany kształt i odstępy wafli.

Drobna, gęsta struktura rekrystalizowanego SIC zapewnia niezwykłą odporność na utlenianie, korozję i zanieczyszczenie gazami procesowymi i produktami ubocznymi. To sprawia, że ​​łódź jest szczególnie korzystna dla procesów w agresywnej atmosferze, takich jak dyfuzja, utlenianie, LPCVD i wyżarzanie. Wysoka bezwładność chemiczna SIC pozwala uniknąć reakcji z powierzchniami opłat, zachowując w ten sposób czystość produktu i minimalizując wytwarzanie cząstek stałych w piecu. Łodzie SIC mogą pomóc producentom, którzy muszą zaspokoić rygorystyczne wymagania dotyczące czystości, zapewniając czystsze środowiska przetwarzania i lepszą jakość płytki.

Łodzie te można wytwarzać z różnymi złożonymi geometrią i wymiarami częściowo specyficznymi z precyzyjnymi technikami obróbki i formowania. Projekty zwykle wykorzystują wiele równoległych szczelin/rowków, aby bezpiecznie przytrzymać wafle w poziomej orientacji i równomiernie narażają całą powierzchnię płytki na warunki termiczne. Odstępy i kąty szczeliny można również zoptymalizować w celu dopasowania płytek innych średnic, takich jak 150 mm, 200 mm lub 300 mm, oraz bezpośredni przepływ powietrza podczas efektów przetwarzania, jednocześnie osiągając jednolitość temperatury do przetwarzania.

Te poziome łodzie SIC w komorze można zaprojektować w standardowych odlotach, ale można je zaprojektować do współpracy z zautomatyzowanymi ładowarami opłat, co skutkuje bezproblemową integracją z nowoczesnymi wysokimi przepustownymi liniami produkcyjnymi. Solidny projekt sprawi, że łodzie będą również mniej prawdopodobne, że pękną lub pękną podczas obsługi i zmniejszy czas przestojów i koszty zamienników.

Przewodność cieplnaKrzemowy węglikReprezentuje kolejną kluczową zaletę, która ułatwia wydajne przenoszenie ciepła między waflami a środowiskiem pieca. Zaletą jest to, że producenci mogą osiągnąć bardziej jednolite warunki przetwarzania i skrócić czasy cyklu, co może zwiększyć wydajność produkcji. Łodzie SIC zapewniają spójne i powtarzalne wyniki, niezależnie od tego, czy są one stosowane do wytwarzania opłat półprzewodników, produkcji ogniw słonecznych lub innych zaawansowanych materiałów materiałowych w podwyższonych temperaturach.

Podsumowując, poziome łodzie SIC w komorze są kluczowym elementem dla producentów, którzy chcą produkować płytki z wysokowydajnymi, długotrwałymi i odpornymi na zanieczyszczenie przewoźników płytek. Ma wytrzymałość mechaniczną, stabilność termiczną i bezwładność chemiczną, która jest nierówna w zastosowaniach w pieszych poziomych. Wybierając łodzie z węglików krzemowych, operatorzy mogą wykorzystać lepszą kontrolę procesu, wyższe plony i minimalizować przerwy operacyjne z powodu konserwacji. Ogólnie zapewnia bardziej wydajne i opłacalne produkcje.