Poziome łodzie z węglika krzemu

Semicorex poziomyłodzie z węglika krzemusą formowane integralnie przy użyciu technologii druku 3D, a następnie wytwarzane poprzez spiekanie w wysokiej temperaturze. Zaprojektowane specjalnie, aby pasować do różnych rozmiarów poziomych pieców wysokotemperaturowych, komponenty te są szeroko stosowane w celu pewnego zabezpieczenia retencji płytek w krytycznych procesach produkcji półprzewodników w wysokiej temperaturze, w tym dyfuzji, utleniania i chemicznego osadzania z fazy gazowej.

Właściwości fizykochemiczne węglika krzemu

Zalety poziomej łodzi z węglika krzemu Semicorexs

1. Stabilne wsparcie i pozycja

Niezrównana wytrzymałość i twardość materiału zapewniają poziome łodzie z węglika krzemu Semicorex o doskonałej nośności, co umożliwia im stabilne przenoszenie wielu płytek jednocześnie. Dzięki precyzyjnej obróbce szczelin poziome łódki z węglika krzemu Semicorex mogą trwale mocować i bezpiecznie trzymać płytki półprzewodnikowe. Równomiernie rozmieszczona struktura szczelin zapewnia, że ​​płytki utrzymują stałą pozycję przez cały cykl przetwarzania, gwarantując w ten sposób spójność i precyzję procesów produkcyjnych półprzewodników.

2. Zgodność ze złożonymi warunkami pracy

Dzięki doskonałej odporności na wysokie temperatury i korozję, poziome łodzie z węglika krzemu Semicorex są w stanie wytrzymać rygorystyczne środowiska pracy, takie jak atmosfery o wysokiej temperaturze zawierające tlen, azot lub chlorowodór o niskim stężeniu. Te wyjątkowe właściwości materiału mogą skutecznie zapobiegać korozji i uszkodzeniom powodowanym przez żrące gazy o wysokiej temperaturze, co znacznie wydłuża żywotność łodzi.

3. Wyjątkowa czystość

W odróżnieniu od konwencjonalnych łodzi z grafitu pokrytych węglikiem krzemu, poziome łodzie z węglika krzemu Semicorex są wykonane z wysokiej czystości półprzewodnikówwęglik krzemu(99,999%) z bardzo niską zawartością zanieczyszczeń. Ten najwyższej jakości materiał eliminuje ryzyko odgazowania zanieczyszczeń lub złuszczania się powłoki, nawet w przypadku wystawienia na działanie wysokiej temperatury i trudnych warunków korozyjnych. Dodatkowo każda z naszych łódek z węglika krzemu poddawana jest rygorystycznym procesom czyszczenia ultradźwiękowego przed pakowaniem próżniowym, co gwarantuje dotrzymanie standardów czystości wymaganych przez zaawansowane procesy produkcyjne półprzewodników.