Pierścienie wlotowe MOCVD

Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu na dużą skalę w Chinach. Nasze pierścienie wlotowe MOCVD mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Semicorex dostarcza pierścienie wlotowe MOCVD stosowane w osadzaniu i przetwarzaniu płytek, które są naprawdę stabilne w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego. Nasze pierścienie wlotowe MOCVD mają konstrukcję grafitową pokrytą węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi oraz trwałą odporność chemiczną. Drobna powłoka krystaliczna SiC zapewnia czystą, gładką powierzchnię, która ma kluczowe znaczenie dla obsługi, ponieważ nieskazitelne płytki stykają się z susceptorem w wielu punktach na całej swojej powierzchni.

W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu wysokiej jakości, opłacalnych pierścieni wlotowych MOCVD, priorytetowo traktujemy satysfakcję klienta i zapewniamy opłacalne rozwiązania. Z niecierpliwością czekamy na to, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty wysokiej jakości i wyjątkową obsługę klienta.

Parametry pierścieni wlotowych MOCVD

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	um	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300