Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu na dużą skalę w Chinach. Nasz pierścień uszczelniający wlotowy MOCVD ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.
Pierścień uszczelniający wlotu MOCVD Semicorex z węglika krzemu to grafit o wysokiej czystości pokryty SiC, stosowany w procesie osadzania i obsługi płytek. Pierścień uszczelniający wlotu MOCVD z powłoką SiC ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu wysokiej jakości, ekonomicznego pierścienia uszczelniającego wlotu MOCVD, priorytetowo traktujemy satysfakcję klienta i zapewniamy opłacalne rozwiązania. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty wysokiej jakości i wyjątkową obsługę klienta.
Parametry pierścienia uszczelniającego wlotu MOCVD
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura kryształu |
Faza β FCC |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy pierścienia uszczelniającego wlotu MOCVD
Grafit pokryty SiC o wysokiej czystości
Doskonała odporność na ciepło i jednorodność termiczna
Drobna powłoka kryształowa SiC zapewniająca gładką powierzchnię
Wysoka odporność na czyszczenie chemiczne
Materiał został tak zaprojektowany, aby nie dochodziło do pęknięć i rozwarstwień.