Pierścienie zewnętrzne z poli-si do trawienia

Zwykle umieszczany wokółgłowica prysznicowaPierścień zewnętrzny Poly-Si pełni rolę elementu łączącego pomiędzy pierścieniem wylotowym a głowicą prysznicową. Współpracuje z firmąuchwyt elektrostatyczny, głowica prysznicowa Si, pierścień skupiający Si, pierścień wylotowy Si i pierścień ekranujący Si, tworząc stabilne i niezawodne środowisko procesowe dla operacji trawienia o wysokiej precyzji.

Zalety pierścieni zewnętrznych Semicorex Poly-Si do trawienia

Pierścienie zewnętrzne Semicorex Poly-Si do trawienia są precyzyjnie wykonane z wysokiej jakości polikrzemu, zapewniając następujące doskonałe właściwości.

1. Wysoka czystość i niska zawartość cząstek

2. Doskonała odporność na wysoką temperaturę i wysoka odporność na szok termiczny

3. Niezawodna odporność na korozję

4. Wyjątkowa wydajność elektryczna i wysoka jednorodność przewodności elektrycznej

Funkcje pierścieni zewnętrznych Semicorex Poly-Si do trawienia

1. Stabilna wydajność uziemienia

Stosowane do uziemiania i ochrony elektrod, pierścienie zewnętrzne Semicorex Poly-Si do trawienia są w stanie uniknąć gromadzenia się ładunków elektrostatycznych oraz uszkodzeń łuku i zapewniają stabilną pracę układu elektrod, doskonale spełniając wymagania procesowe zaawansowanej produkcji 3D NAND.

2. Niezawodne wsparcie

Pierścienie zewnętrzne Semicorex Poly-Si do trawienia stanowią podstawowe elementy łączące pierścień wylotowy z głowicą prysznicową. Zapewniają niezawodne mechaniczne podparcie obu części i utrzymują je stabilnie w odpowiednim miejscu. Ponadto zastosowanie pierścieni zewnętrznych Semicorex Poly-Si do trawienia może zapobiec erozji plazmowej w komorze trawienia, co w ten sposób skutecznie zapewnia stabilne wykonanie operacji trawienia.

3. Zgodność z procesem trawienia

Pierścienie zewnętrzne Semicorex Poly-Si do trawienia charakteryzują się niską zawartością zanieczyszczeń i wyjątkową odpornością na korozję, zapewniając doskonałą kompatybilność przy wytwarzaniu płytek krzemowych, co znacznie zmniejsza defekty płytek spowodowane zanieczyszczeniem wytrawionymi produktami ubocznymi i znacząco zapewnia wysoki współczynnik wydajności w produkcji półprzewodników.