Łódź z waflami silikonowymi

Semicorex może dostosować konstrukcję łodzi z płytek krzemowych, w tym kształt pręta rowkowego, długość zęba rowka, kształt, kąt nachylenia i całkowitą ładowność płytki, i może być produkowany zgodnie z wymaganiami klienta. Wysokotemperaturowe łodzie krzemowe mogą skutecznie zmniejszyć uszkodzenia kontaktowe płytek krzemowych i poprawić wydajność procesu. Jego odporna na wysokie temperatury konstrukcja „wież antypoślizgowych” utrzymuje płytki tylko na czubku zęba podpierającego. W porównaniu dowęglik krzemukrzem ma stosunkowo niską twardość, co zmniejsza uszkodzenia mechaniczne płytek, poprawiając w ten sposób współczynnik przejścia sieci i skutecznie obniżając koszty produkcji. Łódź ze stopionego krzemu składa się z kilku części: zębów, płyty podstawy i płyty górnej, które są ze sobą stopione. Zmniejsza to koszty produkcji. W przypadku częściowego uszkodzenia uszkodzone części można wymienić bez konieczności wymiany całej łódki silikonowej, co znacznie obniża koszty posiadania w trakcie użytkowania. Ponadto łódź krzemowa ma dużą górną granicę osadzania polikrzemu, co może skutecznie zmniejszyć częstotliwość urządzeń PM i poprawić wydajność produkcyjną.

Semicorex Silicon Wafer Boat to innowacyjny, specjalnie zaprojektowany nośnik opłatków. Został stworzony specjalnie do obróbki w piecu wysokotemperaturowym stosowanym w przemyśle półprzewodników, w tym do procesów utleniania i redukcji w temperaturach od 1200 do 1250 °C. Dzięki zaletom wydajności niedostępnym w przypadku materiału z węglika krzemu (SiC), łódka krzemowa zapewnia korzyści związane z rygorystycznymi procesami wymaganymi w produkcji półprzewodników. Po pierwsze, istotna jest bardzo wysoka czystość materiału krzemowego; w rzeczywistości,materiał silikonowyosiąga bardzo wysoki poziom czystości ponad 9N (99,9999999%), zapewniając w ten sposób, że żadne metalowe lub obce zanieczyszczenia nie zanieczyszczą przetwarzania płytek. Ma to kluczowe znaczenie w przypadku najnowocześniejszej produkcji urządzeń półprzewodnikowych, w której zanieczyszczenie silnie wpływa na niezawodność działania i wydajność. Silicon Wafer Boat zapewnia ultraczyste środowisko o wysokim poziomie czystości, odpowiednie dla najbardziej zaawansowanych wymagań branżowych w zakresie obsługi płytek narażonych na działanie bardzo wysokich temperatur w celu przetwarzania utleniania i redukcji.

Kolejna zaletamateriał silikonowyjest jego niższa twardość w porównaniu z materiałem SiC. Pręty lub łódki SiC są znane z twardości i wytrzymałości, ale sama ta właściwość może powodować trudności podczas przetwarzania płytek. W wysokich temperaturach płytki będą mikroprzemieszczać się; wewnątrz łodzi lekko się odbiją, przesuną i wykrzywią się krawędzie. Twardszy materiał SiC może stwarzać większe ryzyko tworzenia się cząstek lub zarysowań na tylnej stronie płytki, ponieważ właściwości płytki i łódki oddziałują na siebie w warunkach przetwarzania w wysokiej temperaturze.

Silicon Wafer Boat łagodzi ten problem, wykorzystując stosunkowo miękki charakter krzemu w porównaniu z SiC. Zmniejszenie twardości pozwala zarówno na mniejsze tarcie, jak i naprężenia mechaniczne, gdy płytki stykają się z łodzią podczas cykli termicznych. W rezultacie cząsteczki powstają rzadziej, a ryzyko zarysowań tylnej powierzchni jest zmniejszone niemal do zera. Co więcej, minimalizując wady powierzchni, łódka krzemowa bezpośrednio poprawia jakość siatki i podnosi ogólny wskaźnik kwalifikacji przetwarzanych płytek. Dla fabryk półprzewodników, które chcą poprawić wydajność przy maksymalnej kontroli jakości, ten stan wydajności sprawia, że ​​łódź krzemowa jest atrakcyjną opcją.

Krzem zapewnia dobrą stabilność i wytrzymałość mechaniczną w wysokich temperaturach, dzięki czemu łódź może niezawodnie służyć podczas powtarzających się cykli pieca. Materiał jest odporny na wypaczenia podczas cykli ogrzewania i chłodzenia, dzięki czemu utrzymuje precyzyjne ułożenie płytek i tolerancję pozycjonowania nawet podczas szybkich cykli pieca. Ta odporność termiczna zapewnia niezawodne wyniki procesu, które są wystarczająco spójne, aby umożliwić produkcję wielkoseryjną przy minimalnych różnicach między seriami. Łódka z waflami krzemowymi jest skonstruowana z dużą precyzją wymiarową, aby zapewnić spójne pozycjonowanie i rozmieszczenie płytek. Łódź jest wytwarzana przy użyciu zaawansowanej obróbki i polerowania, aby uzyskać gładkie powierzchnie, ścisłą geometrię i wąskie tolerancje.