Wtryskiwacz silikonowy

Wtryskiwacz krzemowy Semicorex to komponent o ultrawysokiej czystości przeznaczony do precyzyjnego dostarczania gazu w niskociśnieniowych systemach chemicznego osadzania z fazy gazowej (LPCVD) do osadzania polikrzemu i cienkich warstw. Zbudowany z 9N (99,9999999%)krzem o wysokiej czystościten cienki wtryskiwacz rurowy zapewnia doskonałą czystość, kompatybilność z chemikaliami i stabilność termiczną w ekstremalnych warunkach procesowych.

Ponieważ produkcja półprzewodników stale ewoluuje w kierunku wyższych poziomów integracji i ściślejszej kontroli zanieczyszczeń, każdy element dostarczający gaz w komorze osadzania będzie również musiał spełniać wyższe standardy niż wcześniej. Iniektor krzemowy Semicorex został opracowany specjalnie z myślą o tego typu wymaganiach — dostarcza materiały gazowe w stabilny i jednolity sposób w całej komorze reakcyjnej bez wprowadzania zanieczyszczeń, które mogłyby negatywnie wpłynąć na jakość folii lub wydajność płytek.

Wtryskiwacz jest wytwarzany z krzemu monokrystalicznego lub polikrystalicznego, w zależności od wymagań procesu, a materiał jest zaprojektowany tak, aby zawierał niewielką ilość zanieczyszczeń metalicznych, cząstek stałych i jonowych. Zapewnia to zgodność z ultraczystymi warunkami LPCVD, w których nawet śladowe zanieczyszczenia mogą spowodować uszkodzenie folii lub awarię urządzenia. Zastosowanie krzemu jako materiału bazowego zmniejsza również niedopasowanie materiałowe pomiędzy wtryskiwaczem a silikonowymi elementami komory, co znacznie zmniejsza ryzyko wytwarzania cząstek lub reakcji chemicznych podczas użytkowania i pracy w wysokiej temperaturze.

Specjalna konstrukcja rurowa wtryskiwacza krzemu pozwala na kontrolowaną i równą dystrybucję gazu w równomiernym obciążeniu płytki. Mikroprojektowane kryzy i gładka powierzchnia wewnętrzna zapewniają powtarzalne natężenia przepływu wraz z laminarną dynamiką gazu, które są krytyczne dla stałej grubości warstwy i stabilnej szybkości osadzania w piecu. Niezależnie od tego, czy jest to silan (SiH₄), dichlorosilan (SiH₂Cl₂), czy inne reaktywne gazy, wtryskiwacz zapewnia niezawodną wydajność i precyzję wymaganą do uzyskania dobrej jakości wzrostu filmu polikrzemowego.

Dzięki doskonałej stabilności termicznej wtryskiwacz silikonowy Semicorex może wytrzymać temperatury do 1250 ° C i można nim sterować bez obawy o deformację, pękanie lub wypaczenie podczas wielokrotnych cykli LPCVD w wysokiej temperaturze. Dodatkowo jego wysoka odporność na utlenianie i obojętność chemiczna zapewnia długie przebiegi w atmosferze utleniającej, redukującej lub korozyjnej, jednocześnie ograniczając konserwację i zapewniając stabilność procesu.

Każdy wtryskiwacz jest produkowany przy użyciu najnowocześniejszej obróbki i polerowania CNC, co pozwala uzyskać tolerancje wymiarowe poniżej mikrona i wyjątkowo gładkie wykończenie powierzchni. Wysokiej jakości wykończenie powierzchni minimalizuje turbulencje gazu, tworząc bardzo niewiele cząstek lub nie tworząc ich wcale, zapewniając jednocześnie stałą charakterystykę przepływu w przypadku niespójnych zmian temperatury i ciśnienia. Precyzyjna produkcja zapewnia ściśle kontrolowane procesy, powtarzalność i wiarygodne wyniki, a tym samym stałą wydajność sprzętu.

Semicorex produkuje wtryskiwacze krzemowe na zamówienie, dostępne w niestandardowych długościach, średnicach i konfiguracjach dysz. Można opracować rozwiązania dostosowane do indywidualnych potrzeb, aby ulepszyć wzorce dyspersji gazów dla jednorazowych geometrii reaktorów lub receptur osadzania. Każdy wtryskiwacz jest sprawdzany i weryfikowany pod kątem czystości, aby zapewnić najwyższy poziom jakości półprzewodnikówelementy silikonowe.

Wtryskiwacz krzemowy Semicorex zapewnia precyzję i czystość wymaganą w dzisiejszej produkcji półprzewodników. Zastosowanie krzemu o ultrawysokiej czystości 9N, dokładności obróbki na poziomie mikronów oraz wysokiej stabilności termicznej i chemicznej zapewnia równomierną dystrybucję gazu, mniejsze wytwarzanie cząstek i wyjątkową niezawodność podczas osadzania polikrzemu LPCVD.