Łódź na cokole z silikonu

Semicorex Silicon Pedestal Boat to ultraczysty nośnik płytek, który został zaprojektowany z myślą o wysokiej czystości i precyzji, aby wspierać procesy półprzewodników w wysokiej temperaturze, takie jak utlenianie, dyfuzja i LPCVD (niskociśnieniowe chemiczne osadzanie z fazy gazowej). Ten nośnik waflowy wykonany jest z 9N (99,9999999%)krzem o wysokiej czystościaby zapewnić wyjątkową czystość, współczynnik rozszerzalności cieplnej, stabilność mechaniczną i mechaniczną precyzję mocowania płytek oraz stałą kontrolę procesu w ultra czystym środowisku.

Ponieważ geometria urządzeń półprzewodnikowych stale się kurczy, zapotrzebowanie na ultraczyste i kompatybilne termicznie komponenty do obsługi płytek półprzewodnikowych nigdy nie było tak duże. Silicon Pedestal Boat spełnia te wymagania dzięki wysokiej dokładności wymiarowej i niezrównanej czystości do stosowania w zaawansowanych systemach pieców pracujących w temperaturach od 1100°C do 1250°C.

Konstrukcję łodzi krzemowej można dostosować do wymagań klienta, w tym kształtu pręta rowkowego, długości zęba rowka, kształtu, kąta pochylenia i całkowitej nośności płytki. Wysokotemperaturowe łodzie krzemowe mogą skutecznie zmniejszyć uszkodzenia kontaktowe płytek krzemowych, poprawiając wydajność procesu. Jego odporna na wysokie temperatury konstrukcja „wież antypoślizgowych” utrzymuje płytki tylko na czubku zęba podpierającego. W porównaniu z węglikiem krzemu krzem jest stosunkowo mniej twardy, co zmniejsza uszkodzenia mechaniczne płytek, poprawiając w ten sposób jakość siatki i skutecznie obniżając koszty produkcji.

Łódź na postumencie jest dostępna wkrzem monokrystaliczny lub polikrystalicznyPodstawową zaletą silikonowej łodzi na cokole są jej zoptymalizowane właściwości mechaniczne i termiczne. Twardość krzemu w porównaniu z SiC lub kwarcem pomoże zmniejszyć mikrozarysowania i powstawanie cząstek w wyniku wibracji lub ruchu płytki podczas rozszerzania pod wpływem ciepła. Jest to szczególnie prawdziwe w przypadku płytek wrażliwych na tył, gdzie integralność powierzchni płytki ma kluczowe znaczenie dla wydajności i wydajności urządzenia.

Silicon Pedestal Boat Semicorex posiada precyzyjnie zaprojektowane szczeliny na płytki w połączeniu z pionowymi konstrukcjami wsporczymi, dzięki czemu płytki pozostają idealnie wyrównane i rozmieszczone podczas cyklu grzewczego. Jego stabilność wymiarowa jest wyjątkowa, co gwarantuje, że łódź na cokole nie będzie się wypaczać, zginać ani przesuwać w ekstremalnych temperaturach, zapewniając dobrą temperaturę i rozkład gazu na każdej płytce. Ta stabilność wymiarowa ma natychmiastowy, pozytywny wpływ na jednorodność grubości powłoki podczas utleniania i dyfuzji i zapewnia mniejszą liczbę defektów, a także lepszą powtarzalność procesu.

Podstawową zaletą silikonowej łodzi na cokole są jej zoptymalizowane właściwości mechaniczne i termiczne. Twardość krzemu w porównaniu z SiC lub kwarcem pomoże zmniejszyć mikrozarysowania i powstawanie cząstek w wyniku wibracji lub ruchu płytki podczas rozszerzania pod wpływem ciepła. Jest to szczególnie prawdziwe w przypadku płytek wrażliwych na tył, gdzie integralność powierzchni płytki ma kluczowe znaczenie dla wydajności i wydajności urządzenia.

Łódź na cokole ma dobrą przewodność cieplną i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, który zapewnia charakterystykę przenoszenia ciepła przy jednoczesnym zachowaniu kształtu i solidności konstrukcyjnej przy wielu cyklach ogrzewania i chłodzenia. Solidna konstrukcja zapewnia również długą żywotność przy minimalnych odkształceniach w ekstremalnych warunkach pieca.

Semicorex zapewnia niestandardowe projekty dla różnych konfiguracji sprzętu, w tym średnicy płytki, liczby szczelin, wysokości cokołu i zmian geometrii. Każdy produkt jest sprawdzany pod kątem czystości, mierzony wymiarowo i testowany pod kątem przewodności cieplnej, a wszystko po to, aby spełnić najwyższe standardy w procesie produkcji półprzewodników.

Silicon Pedestal Boat jest kompatybilny z procesami utleniania i dyfuzji, a także z zastosowaniami LPCVD i wyżarzania, wymagającymi niezrównanej jednorodności temperatury i kontroli zanieczyszczeń. Silicon Pedestal Boat jest kompatybilny z innymi komponentami pieca krzemowego, takimi jak rura wtryskiwacza, rura wykładzinowa i nośnik płytki, utrzymując dopasowanie materiału i termiczne w całym systemie przetwarzania.