Pierścień osłony silikonowej

Silikonowy pierścień ochronny Semicorex jest kluczowym elementem półprzewodnika w procesie trawienia. Jego podstawową funkcją jest otoczenie elektrody i zapobieganie nadmiernemu wyciekowi plazmy. Przy czystości materiału przekraczającej 9N (99,9999999%) pierścień ekranujący może być wykonany zarówno z monokryształu, jak i multikryształukrzem, zapewniając wyjątkowo czystą pracę i niezawodną kompatybilność z zaawansowanymi procesami produkcji półprzewodników.

Dokładna kontrola plazmy w procesie trawienia CCP/ICP ma kluczowe znaczenie dla skutecznej, jednolitej szybkości trawienia i jakości płytki. Niekontrolowany wyciek plazmy poza pożądany obszar trawienia może spowodować erozję powierzchni i zanieczyszczenie lub uszkodzenie elementów wewnątrz komory. Silikonowy pierścień ochronny jest skutecznym, prostym rozwiązaniem tego problemu, stworzonym w celu utworzenia bariery ochronnej na zewnętrznym obwodzie elektrody, powstrzymującej rozprzestrzenianie się plazmy poza obszar docelowy i ograniczającej trawienie tylko do pożądanego obszaru. Krzemowy pierścień ochronny działa również jako elektroda zewnętrzna, stabilizując rozkład plazmy i umożliwiając bardziej równomierną energię na powierzchni płytki.

Właściwości termiczne i elektryczne krzemu dodatkowo wspierają działanie pierścienia wytrawiającego. Jego odporność na wysokie temperatury procesu zapewnia integralność strukturalną podczas długotrwałej ekspozycji na plazmę, a przewodność elektryczna pozwala na prawidłowe działanie elementu jako elementu układu elektrodowego. Łącznie te zastosowania zwiększają uwięzienie plazmy i poprawiają jednorodność energii, co pozwala na powtarzalne profile trawienia na płytkach.

Tolerancja mechaniczna to kolejna zauważalna cecha pierścienia ochronnego do trawienia krzemu. Dzięki produkcji z zachowaniem wąskich tolerancji zapewnia dokładne ustawienie wokół elektrody oraz zachowanie odstępu i geometrii komory. Ta mechaniczna precyzja generuje powtarzalne warunki procesu, zapewniając mniejszą zmienność pomiędzy poszczególnymi seriami i pomaga w produkcji półprzewodników na dużą skalę. Sam materiał ma doskonałą kompatybilność ze środowiskami plazmowymi; w związku z tym erozja jego struktury pozwala zazwyczaj zapewnić długą żywotność i stabilność wydajności procesu.

Trwałość i opłacalność to dwie kolejne cenne korzyści. Osłaniając niepotrzebne sekcje komory przed plazmą, pierścień ochronny zmniejsza zużycie innych krytycznych komponentów, co zmniejsza wysiłki konserwacyjne i zwiększa ogólny czas sprawności operacyjnej. Długa żywotność i rzadsza wymiana sprawiają, że jest to opłacalne rozwiązanie dla fabryk półprzewodników, umożliwiające zwiększenie produktywności, a tym samym zmniejszenie kosztów operacyjnych.

TheKrzempierścień osłonowy można również dostosować do każdej konfiguracji narzędzia i specyfikacji procesu, ponieważ są one dostępne w kilku rozmiarach i geometriach, aby dopasować się do wielu różnych produkowanych przez producentów komór do trawienia plazmowego, przy jednoczesnym zapewnieniu optymalnego dopasowania. Dodatkowo można zastosować obróbkę powierzchniową i polerowanie, aby jeszcze bardziej ograniczyć wytwarzanie cząstek i zapewnić ultraczyste standardy produkcyjne.