Pierścienie szczelinowe z poli-si

Pierścienie szczelinowe z poli-Si są powszechnie instalowane w komorze reakcyjnej zaawansowanych urządzeń do trawienia półprzewodników. Działają synergistycznie z częściami silikonowymi, w tym z krzemempierścienie ostrości, krzemowe pierścienie zewnętrzne i krzemgłowice prysznicowe. Części te mogą stworzyć stabilne i optymalne środowisko reakcji dla procesu trawienia, zapewniając doskonałeakwafortaprecyzja i spójność procesu.

Funkcje pierścieni szczelinowych Semicorex Poly-Si

1. Pierścienie szczelinowe Semicorex Poly-Si wyposażone są w wiele równomiernie rozmieszczonych szczelin, które służą jako kanały gazowe, które umożliwiają płynne odprowadzenie gazów procesowych po reakcji.

2. Pierścienie szczelinowe Semicorex Poly-Si zapewniają doskonałą kontrolę plazmy, zapewniając niezawodną ochronę komory reakcyjnej sprzętu do trawienia półprzewodników.

3. Pierścienie szczelinowe Semicorex Poly-Si pomagają regulować pole elektryczne i ciśnienie w komorze, zapobiegając w ten sposób wpływowi niestabilności na spójność procesu trawienia.

Wysoki standard doboru materiałów

Pierścienie szczelinowe Semicorex Poly-Si są produkowane z wysokiej jakości krzemu polikrystalicznego o poziomie czystości ponad 99,9999%, co nadaje im następujące doskonałe właściwości.

1. Bardzo wysoka czystość i wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń.

2. Wyjątkowa odporność na korozję plazmową.

3. Korzystne właściwości elektryczne przy równomierności rezystancji: RRG ≤ 5%, niska rozdzielczość. (<0,02), średnia rozdz. (1–4) i wysokiej rozdzielczości. (70–90).

Możliwości produkcyjne i kontrola jakości

Wyposażony w zaawansowany sprzęt do obróbki i doświadczony zespół techniczny, Semicorex ściśle kontroluje każdy proces produkcyjny i oferuje naszym cenionym klientom wysokiej jakości, dobrze dopasowane pierścienie szczelinowe z poli-Si. Ponadto Semicorex przeprowadza ścisłą kontrolę pomiarów wymiarowych, testów rezystywności i kontroli wizualnej gotowych pierścieni szczelinowych z poli-Si, aby upewnić się, że są one wolne od defektów, takich jak odpryski, zadrapania, pęknięcia i plamy.