Porowate Sic Chuck

Porowate porowate SIC Chuck to część ceramiczna, która została złożona z precyzją dla bezpiecznego, wydajnego obsługi podłoża opłatek do zastosowań półprzewodnikowych poprzez etapy procesu, takie jak kontrola, testowanie i litografia. Chuck jest produkowany z mikroporowatego krzemowego węglika ceramicznego (SIC). SIC ma wytrzymałość mechaniczną, odporność chemiczną i właściwości stabilności termicznej potrzebne do najnowocześniejszych środowisk produkcyjnych półprzewodników.

Zasadniczą cechą porowatego Chucka SIC jest unikalna mikrostruktura, która wykazuje porowatość 35%-40%. Wraz z mocno kontrolowaną porowatością, leżąca konstrukcja umożliwia równomierne wysuwanie próżniowe na równomierne wydawanie przez Chucka, generując spójne stabilne i niekontaktowe wsparcie dla typowo delikatnych substratów waflowych: krzem lub GAN i innych złożonych półprzewodników.  Tryb ssania próżni unika zarówno zanieczyszczenia cząstek, jak i uszkodzeń mechanicznych, zachowując w ten sposób integralność płytki podczas procesu.

Ceramiczne ciało Chucka jest przede wszystkim o wysokiej czystości, z innymi ceramikami, takimi jak tlenek glinu (AL2O3), potencjalnie stosowany do ograniczonej liczby warstw funkcjonalnych w zależności od zastosowania. Badania i rozwój materiału umożliwiają zarządzanie wielkością porów i dystrybucji w celu zaprojektowania przepływu powietrza i siły trzymania w zależności od rozmiarów opłat i warunków procesu. Jeśli ważne jest kontrolowanie próżni na cieńszych waflach, zostanie włączony mniejszy rozmiar porów. W przypadku szybszych prędkości przepływu zastosowano większy rozmiar porów.

Porowate SIC Chucks wykazują zmienność kolorów w wyniku zmiennych porów, kompozycji ceramicznych i warunków strzelania. SIC Chucks zwykle są czarne lub ciemnoszaro, ponieważ kolor węgliku krzemu jest albo szary lub czarny, jednak chucks z dużą zawartością tlenku glinu zwykle mają biały kolor. Wariancje koloru nie mają wpływu na wydajność produktu i reprezentują jedynie inżynieryjne właściwości, które zostały utworzone dla określonych aplikacji, aby spełnić określone potrzeby klientów.

W wysokiej klasy narzędziach przetwarzania waflów stabilność termiczna i bezwładność chemiczna są dwoma najważniejszymi cechami. Krzem krzemowy zapewnia doskonałą odporność na gazy korozji i cykli termiczne. Porowata SIC Chuck z powodzeniem działa w komorach próżniowych i narzędzi do trawienia plazmowego i nadal dobrze sobie radzi z szybko zmieniającymi się temperaturami. Ich zdolność do utrzymywania świerszalnej stabilności Chucka zapewnia, że wafel pozostaje w tym samym miejscu, mimo że wymagania dotyczące dokładności mogą być poniżej sub-mikronu w zależności od procesu przyczyniającego się do ustabilizowanego wymiaru, zapewniają dokładność.

Porowate chucki SIC są wykonane przy użyciu autoryzowanych procedur formowania i spiekania, które zapewniają jednolitą porowatość, wysoką wytrzymałość na zginanie i niską ekspansję cieplną. Każdy chuck jest sprawdzany pod kątem struktury porów, płaskości i wydajności próżniowej, aby zapewnić niezawodny i powtarzalny produkt. Dostępne są również niestandardowe projekty, aby uwzględnić określone rozmiary wafli i wymagania dotyczące integracji systemu, takie jak kanały przepływu gazu tylnego lub funkcje montażowe.

Podsumowując, porowaty SIC Chuck to system wsparcia podłoża o wysokiej niezawodności, który został starannie zaprojektowany do pracy w połączeniu z wymogami precyzyjnego przetwarzania opłat. Przy wysokiej zdolności do trzymania próżni, konfigurowalnej struktury porów i wyjątkowej stabilności materiału jest niezbędnym produktem w dzisiejszych półprzewodnikowych liniach wytwarzania.