Porowata płyta Sic

Porowata płyta SIC SemiCorex to wysokowydajny materiał ceramiczny zaprojektowany do zaawansowanych zastosowań produkcyjnych półprzewodników i precyzyjnych. Zaprojektowana z drobno kontrolowaną porowatą strukturą, ta płyta oferuje wyjątkową wytrzymałość mechaniczną, stabilność termiczną i odporność chemiczną, co czyni ją idealnym wyborem do stosowania jakopróżniowy chuckw przetwarzaniu półprzewodnikowym.

Przetwarzana przez precyzyjne spiekanie i tworzenie porów, porowata płytka SIC ma jednolitą porowatość i zoptymalizowaną przepuszczalność powietrza, zapewniając w ten sposób bezpieczną i stabilną adsorpcję cienkich płytek, paneli szklanych i innych delikatnych substratów. Starannie kontrolowany rozkład wielkości porów umożliwi efektywne ssanie próżniowe przy jednoczesnym utrzymywaniu jego składników strukturalnych aż do ostatniego atomu, praktycznie zapobiegając odkształceniu lub uszkodzeniu materiału przeznaczonego do dalszego przetwarzania: wafle.

Jego doskonała przewodność cieplna sprawia, że ​​porowata płyta SIC jest jednym z najlepszych kandydatów do szybkiego rozpraszania ciepła z jednolitym rozkładem temperatury na powierzchni. Staje się to ważne w wielu rodzajach procesów produkcyjnych półprzewodników w celu utrzymania stabilności w warunkach termicznych, co bezpośrednio odnosi się do wydajności i jakości produktu. Ponadto węglik krzemowy dobrze przedstawia odporność na zużycie i stosunkowo wysoki poziom twardości, dając w ten sposób dłuższą żywotność talerza, ponieważ zużycie powierzchni i zanieczyszczenie są opóźnione z powodu znacznie dłuższego użytkowania.

Bez powodu chemicznej jest kolejną istotną cechą porowatej płyty SIC. Wykazuje silną odporność na kwasy, alkalis i ekspozycję w osoczu, dzięki czemu dobrze nadaje się do trudnych środowisk w ramach produkcji półprzewodnikowej, takich jak trawienie, osadzanie i chemiczne komory przetwarzania. Nie reaktywny charakter SIC zapobiega niechcianym interakcjom chemicznym, zachowując czystość przetworzonych materiałów i zwiększając niezawodność produkcji.

Ponadto lekka natura porowatego SIC, w połączeniu z jego solidnymi właściwościami mechanicznymi, ułatwia łatwą obsługę i integrację z precyzyjnymi maszynami. Niski współczynnik rozszerzania cieplnego zapewnia stabilność wymiarową nawet przy ekstremalnych fluktuacjach temperatury, minimalizując ryzyko wypaczenia lub niewspółosiowości podczas pracy.

Porowatą płytkę SIC można dostosować, aby spełnić określone wymagania dotyczące zastosowania, w tym zmiany porowatości, grubości i wykończenia powierzchni. Można zastosować zaawansowane techniki obróbki i polerowania w celu osiągnięcia bardzo płaskich powierzchni o minimalnej szorstkości, co dodatkowo zwiększając jego wydajność jako próżniowy materiał chucka.

Porowata krzemowa płyta węglika krzemu jest wysoce wyspecjalizowanym składnikiem ceramicznym, który oferuje kombinację wysokiej wytrzymałości, doskonałej stabilności termicznej i chemicznej oraz doskonałej odporności na zużycie. Jego unikalna porowata struktura umożliwia skuteczne ssanie próżniowe, zapewniając bezpieczne obchodzenie się z waflami w przemyśle półprzewodnikowym i precyzyjnym. W rezultacie jest to niezbędny materiał do zastosowań o wysokiej precyzji, w których wydajność, trwałość i niezawodność są najważniejsze.