Efektor końcowy robota

Semicorex jest wiodącym niezależnym producentem grafitu powlekanego węglikiem krzemu, precyzyjnie obrobionego grafitu o wysokiej czystości, skupiającego się na graficie powlekanym węglikiem krzemu, ceramice z węglika krzemu i MOCVP w obszarach produkcji półprzewodników. Nasz Robot End Effector ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Robot End Effector to ręka robota, która przenosi płytki półprzewodnikowe pomiędzy pozycjami w sprzęcie do przetwarzania płytek i nośnikach. Robot End Effector musi być precyzyjny pod względem wymiarów i stabilny termicznie, a jednocześnie mieć gładką, odporną na ścieranie powierzchnię, aby bezpiecznie obsługiwać płytki bez uszkadzania urządzeń lub wytwarzania cząstek zanieczyszczeń. Nasza powłoka z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości Robot End Effector zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi oraz trwałą odporność chemiczną.

Parametry efektora końcowego robota

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300