Zakrzywione elektrody silikonowe

W przypadku zaawansowanego sprzętu do trawienia zakrzywiona elektroda krzemowa jest zwykle montowana na górze komory trawiącej, zwróconą w stronę płytki półprzewodnikowej. Zakrzywiona elektroda krzemowa zwykle współpracuje z uchwytem elektrostatycznym, pierścieniem ogniskującym Si, pierścieniem krawędziowym Si, pierścieniem wylotowym Si i pierścieniem ekranującym Si, aby zapewnić optymalne warunki pracy dla precyzyjnego trawienia.

Funkcje krzemowych elektrod zakrzywionych Semicorex

1. Kompatybilny ze złożonym trawieniem struktur 3D

Dzięki wyjątkowym możliwościom kontroli pola elektrycznego 3D, Semicorexzakrzywione elektrody krzemowemoże idealnie dopasować się do cech geometrycznych złożonych konstrukcji. Specjalna zakrzywiona konstrukcja umożliwia precyzyjną kontrolę plazmy i zoptymalizowaną dystrybucję energii, co znacząco wpływa na współczynnik proporcji i pionowość ścian bocznych trawienia struktury 3D i w pełni spełnia wymagania linii produkcyjnej w zakresie zaawansowanych procesów pakowania i integracji 3D IC.

2. Precyzyjna kontrola dystrybucji gazu trawiącego

Zakrzywione elektrody krzemowe Semicorex posiadają wiele równomiernie rozmieszczonych mikrootworów na swojej powierzchni, przez które gaz trawiący przedostaje się do komory trawiącej. Zakrzywione elektrody krzemowe Semicorex umożliwiają precyzyjną kontrolę gazu trawiącego i umożliwiają jego równomierne rozprowadzenie w komorze trawiącej, minimalizując w ten sposób zmiany procesu spowodowane nierównomiernym rozkładem gazu.

Zalety krzemowych elektrod zakrzywionych Semicorex

1. Bardzo wysoka czystość

Zakrzywione elektrody krzemowe Semicorex są wykonane z monokryształu o ultrawysokiej czystościkrzemo poziomie czystości powyżej 99,9999999%, zapewniającym doskonałą odporność na erozję plazmową. Ten wysoki standard doboru materiałów pozwala skutecznie uniknąć niepożądanych zanieczyszczeń wynikających z produktów ubocznych trawienia, jednocześnie znacznie wydłużając żywotność krzemowych elektrod zakrzywionych.

2. Doskonałe właściwości elektryczne

Wyprodukowane z monokrystalicznego krzemu produkowanego przez firmę MCZ, krzemowe zakrzywione elektrody Semicorex charakteryzują się doskonałą jednorodnością rezystywności: <5% i szerokim zakresem rezystywności do wyboru: niska rozdzielczość. (<0,02), średnia rozdz. (1–4) i wysokiej rozdzielczości. (70–90).

3. Precyzyjna dokładność przetwarzania

Dzięki precyzyjnej obróbce mechanicznej krzemowe elektrody zakrzywione Semicorex osiągają stałą wielkość porów i równomierny rozkład otworów. Ich powierzchnie są dokładnie polerowane i szlifowane: polerowane (Ra < 0,1 µm) i szlifowane (Ra < 1,6 µm), przy całkowitej precyzji obróbki kontrolowanej w granicach 0,03 mm.