Jako profesjonalny producent chcielibyśmy dostarczyć Państwu komponenty półprzewodnikowe. Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty pokryte SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje materiały eksploatacyjne grafitowe do gorących stref hodowli kryształów (grzejniki, susceptory tygli, izolacja) po precyzyjne komponenty grafitowe do urządzeń do przetwarzania płytek, takie jak grafitowe susceptory powlekane węglikiem krzemu do epitaksji lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcje grafitowe pokryte węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości, zapewniające doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Efektor końcowy →
Efektor końcowy to ręka robota, która przesuwa płytki półprzewodnikowe pomiędzy pozycjami w sprzęcie do przetwarzania płytek i nośnikach.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex Silicon Pedestal Boat to nośnik płytek o ultrawysokiej czystości 9N, zaprojektowany z myślą o precyzyjnym i stabilnym podtrzymywaniu płytek w procesach utleniania, dyfuzji i LPCVD w wysokiej temperaturze. Wybierz Semicorex, aby uzyskać niezrównaną czystość materiału, precyzyjną obróbkę i sprawdzoną niezawodność*
Czytaj więcejWyślij zapytanieWtryskiwacz krzemowy Semicorex to element rurowy o ultrawysokiej czystości, zaprojektowany z myślą o precyzyjnym i wolnym od zanieczyszczeń dostarczaniu gazu w procesach osadzania polikrzemu LPCVD. Wybierz Semicorex, aby cieszyć się wiodącą w branży czystością, precyzyjną obróbką i sprawdzoną niezawodnością.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex Silicon Wafer Boat to nośnik o wysokiej czystości przeznaczony do pieców półprzewodnikowych wysokotemperaturowych, wspierający płytki podczas procesów utleniania i redukcji w temperaturze 1200–1250 °C. Semicorex zapewnia doskonałe produkty, wyjątkowo czystą wydajność i niezawodne wyniki, które bezpośrednio zwiększają wydajność urządzenia.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex Silicon Shield Ring to wysokiej czystości krzemowy element zaprojektowany do zaawansowanych systemów trawienia plazmowego, służący zarówno jako osłona ochronna, jak i elektroda pomocnicza. Semicorex zapewnia wyjątkowo czystą wydajność, stabilność procesu i doskonałe wyniki trawienia dzięki precyzyjnie zaprojektowanym komponentom półprzewodnikowym.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatka ceramiczna Semicorex SiC to wysokiej czystości element wspornikowy zaprojektowany do wysokotemperaturowych pieców półprzewodnikowych, stosowany głównie w procesach utleniania i dyfuzji. Wybór Semicorex oznacza uzyskanie dostępu do zaawansowanych rozwiązań ceramicznych, które zapewniają wyjątkową stabilność, czystość i trwałość w krytycznych zastosowaniach związanych z obsługą płytek.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieCzęści Halfmoon pokryte powłoką Semicorex SiC to precyzyjnie zaprojektowane komponenty zaprojektowane jako podstawowe elementy sprzętu epitaksjalnego, gdzie dwie sekcje w kształcie półksiężyca łączą się, tworząc kompletny zespół rdzenia. Wybór Semicorex oznacza zapewnienie niezawodnych, wysokiej czystości i trwałych rozwiązań, które zapewniają stabilne podłoże dla płytek i wydajne przewodzenie ciepła w zaawansowanej produkcji półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie