Jako profesjonalny producent chcielibyśmy dostarczyć Państwu komponenty półprzewodnikowe. Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty pokryte SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje materiały eksploatacyjne grafitowe do gorących stref hodowli kryształów (grzejniki, susceptory tygli, izolacja) po precyzyjne komponenty grafitowe do urządzeń do przetwarzania płytek, takie jak grafitowe susceptory powlekane węglikiem krzemu do epitaksji lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcje grafitowe pokryte węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości, zapewniające doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Efektor końcowy →
Efektor końcowy to ręka robota, która przesuwa płytki półprzewodnikowe pomiędzy pozycjami w sprzęcie do przetwarzania płytek i nośnikach.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex SiC Heating Filament to grafitowy grzejnik pokryty węglikiem krzemu, przeznaczony do ogrzewania płytek w zaawansowanej produkcji półprzewodników. Wybór Semicorex oznacza wybór zaufanego partnera, który dostarcza materiały o wysokiej czystości, precyzyjne dostosowanie i długotrwałą wydajność dla najbardziej wymagających procesów termicznych.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyty Semicorex z węglika krzemu są specjalnie zaprojektowane do sprzętu fotolitograficznego i mają wiele zalet, takich jak wysoka precyzja, ultralekka waga, wysoka sztywność, niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i doskonała odporność na zużycie.
Czytaj więcejWyślij zapytanieRury piecowe Semicorex SiC to rury z węglika krzemu o wysokiej czystości, produkowane w zaawansowanej technologii druku 3D, przeznaczone do wysokotemperaturowych procesów fotowoltaicznych. Semicorex dostarcza najnowocześniejsze rozwiązania SiC o doskonałej wytrzymałości, stabilności i niezawodności, którym cieszy się zaufanie branży fotowoltaicznej na całym świecie.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatki Semicorex SiC to ramię wspornikowe z węglika krzemu o wysokiej czystości, przeznaczone do transportu płytek w piecach do utleniania i dyfuzji w wysokiej temperaturze powyżej 1000 ℃. Wybór Semicorex oznacza zapewnienie wyjątkowej jakości materiałów, precyzyjnej inżynierii i długoterminowej niezawodności, której zaufały wiodące fabryki półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex SiC Focus Ring to pierścień z węglika krzemu o wysokiej czystości, zaprojektowany w celu optymalizacji dystrybucji plazmy i jednorodności procesu płytek w produkcji półprzewodników. Wybór Semicorex oznacza zapewnienie stałej jakości, zaawansowanej inżynierii materiałowej i niezawodnego działania, któremu zaufały wiodące fabryki półprzewodników na całym świecie.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieChuck z szlifowaniem krawędzi półkrorek to ceramiczny dysk wykonany z białego tlenku glinu o wysokiej czystości, zaprojektowany do szlifowania krawędzi płytki w produkcji półprzewodnikowej. Wybór SEMICOREX zapewnia najwyższą jakość materiału, precyzyjną inżynierię i niezawodną wydajność, które obsługują najbardziej wymagające środowiska przetwarzania płytek.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie