Łodzie z kasetą krzemową Semicorex to wyspecjalizowane nośniki produkowane z 99,9999999% krzemu monokrystalicznego i polikrystalicznego o wysokiej czystości, przeznaczone szczególnie do produkcji półprzewodników o wysokiej zawartości. Wybór Semicorex oznacza, że skorzystasz z niezawodnej jakości, usług dostosowywania i zwiększonej produktywności.
Łodzie kasetowe wykonane z niezrównanej czystości krzemu polikrystalicznego lub krzemu monokrystalicznego mają następujące zalety:
1. Bardzo niskie zanieczyszczenie:
Ich materiały mają ten sam skład chemiczny co wafle przenoszone, minimalizując niepożądane jony zanieczyszczeń podczas procesów wysokotemperaturowych.
2. Znakomita stabilność termiczna:
Są w stanie wytrzymać brak odkształceń i zachować precyzyjne odstępy podczas długotrwałej ekspozycji na wysoką temperaturę (około 1250°C), zapewniając w ten sposób stabilną platformę podporową dla płytek.
3. Doskonałe właściwości mechaniczne:
Są bardziej odporne na uderzenia i mniej podatne na pękanie podczas załadunku i rozładunku niż łodzie kwarcowe.
4. Długa żywotność:
Brak powłoki powierzchniowej powoduje, że materiały powierzchniowe nie odklejają się nawet po długotrwałym wystawieniu na działanie trudnych warunków o wysokiej temperaturze.
Silikon Semicorexłodzie kasetoweto małe nośniki płytek i nośniki transferu, które są kompatybilne z 4-calowymi i 6-calowymi poziomymi piecami wysokotemperaturowymi. Zintegrowana uformowana konstrukcja konstrukcyjna pozwala uniknąć szczelin splotowych i słabości strukturalnych w złączach, znacznie zmniejszając ryzyko pęknięć spowodowanych uderzeniami mechanicznymi, korozją chemiczną lub naprężeniami termicznymi. Łodzie z kasetą krzemową są dobrze kompatybilne z procedurami obróbki w wysokiej temperaturze, takimi jak utlenianie, dyfuzja, wyżarzanie i czyszczenie w wysokiej temperaturze, w dużej mierze dzięki najnowocześniejszej technologii przetwarzania Semicorex.
Łodzie z kasetą silikonową Semicorex umożliwiają zaawansowane, niestandardowe regulacje dla naszych cenionych klientów, w tym takie aspekty, jak kształt listwy rowkowej, długość zęba rowka, profil, kąt pochylenia i całkowita nośność płytek. Ta dostosowana do potrzeb konstrukcja gwarantuje, że płytki są precyzyjnie rozmieszczone w stałych odstępach w łódkach z kasetą krzemową, skutecznie łagodząc odchylenie położenia i nierównomierne nagrzewanie podczas przetwarzania, a tym samym zapobiega pogorszeniu parametrów elektrycznych chipa, a nawet całkowitej awarii chipa. Aby mieć pewność, że klienci otrzymają produkty wysokiej jakości, łodzie z kasetą silikonową Semicorex muszą przejść rygorystyczne kontrole jakości, obejmujące dokładność wymiarową, właściwości materiału, płaskość powierzchni, ogólną czystość i naprężenia szczątkowe.