Posiadacze łodzi SIC

Posiadacze łodzi SEMICOREX SIC to precyzyjne urządzenia wsparcia zaprojektowane do przechowywania łodzi waflowych podczas procesów o wysokiej temperaturze w produkcji półprzewodnikowej. Wykonane z węglików krzemowych o dużej czystości (SIC), uchwyty te wykazują doskonałą stabilność termiczną, odporność chemiczną i sztywność mechaniczną, niezbędne cechy, gdy są stosowane w procesach takich jak dyfuzja, utlenianie i wzrost epitaxialny.

W wymagających środowisk produkcyjnych półprzewodnikowych ochrona integralności opłat i minimalizacji zanieczyszczenia jest kluczowe. Posiadacze łodzi SIC oferują solidną, obojętną platformę, która może tolerować ekstremalne środowiska pieca przy jednoczesnym zachowaniu integralności bez deformacji i bez uwalniania zanieczyszczeń. Ich chemiczna bezwładność pozwala na ich stosowanie z reaktywnymi gasami procesowymi, podczas gdy ich transmitancja termiczna sprzyja nawet ogrzewaniu powierzchni płytek w celu konsekwentnego przetwarzania.

Każdy uchwyt na łódź SIC jest produkowany z wysoką tolerancją na dokładność wymiarową, dzięki czemu są łatwe do pomieszczeń i dostosowania się do dowolnego rodzaju łodzi i zautomatyzowanych konfiguracji obciążenia. Ich sztywna struktura nie tylko tworzy silne, stabilne i odpowiednie wsparcie łodzi opłat, ale także zmniejsza szansę mikro-wibracji lub zmian pozycyjnych na wafle. Ponadto węgliek krzemowy ma doskonałą odporność na zużycie i może poradzić sobie z powtarzającym się cyklem cieplnym, aby zapewnić długą żywotność, co powoduje niewielkie przestoje i wymianę części fiolkowych.

Unikalne atrybuty węgliku krzemu mogą zapewnić dodatkowe korzyści w zakresie czystości procesu. W przeciwieństwie do metali lub materiałów ceramicznych o niższym stopniu, SIC nie łuszczy się, outgas ani chemicznie degraduje w ekstremalnych temperaturach lub w osoczu. To sprawia, że posiadacze łodzi SIC są doskonałym narzędziem dla producentów próbujących ograniczyć zanieczyszczenie pomieszczeń czystych dla zaawansowanych węzłów półprzewodnikowych, które wymagają wysokiej wydajności i czystości.

Uchwyty łodzi SEMICOREX SIC są wytwarzane przy użyciu unikalnych procesów formowania i spiekania, które zapewniają jednolitą mikrostrukturę i wydajność mechaniczną między partiami i wieloma uchwytami łodzi. Na przykład można dostosować kształt uchwytu lub konfiguracja gniazda, a także rodzaj montażu.

Niezależnie od tego, czy jest używany w pionowych piecach, czy reaktorach poziomych, dostosowywanie uchwytów łodzi Semicorex SIC spełni tolerancje dla producenta półprzewodnikowego nowej generacji. Jeśli wybierzesz produkty Semicorex, będziesz wiedział, że pracowałeś z dostawcą, który jest kompetentny, poświęcony doskonałości materialnej i dąży do ciągłego wprowadzania innowacji w ceramicznych komponentach w odniesieniu do niezawodności i dostawy.