Paddles sic

Płynce wspornikowe SemiCorex SIC to komponenty o wysokiej wydajności, które są dokładnie zaprojektowane do obsługi płytki i transportu opłat w płytach półprzewodnikowych (LPCVD, PECVD, utlenianie i piece dyfuzyjne). Te łopatki wspornikowe zapewniają platformę dla waflów i niezbędną formę wsparcia, która zapewnia stabilny i niezawodny transport kruchego wafle w trudnych procesach w wysokiej temperaturze (często przekraczającej 1200 ° C). Płynki wspornikowe są wytwarzane z węgliku krzemu o wysokiej czystości (SIC), który zapewnia mechaniczną trwałość, stabilność termiczną i właściwości przeciwzakrzewkowe dla środowiska wytwarzania półprzewodników.

Krzemowa węglika to super-premium materiał ceramiczny o doskonałej przewodności cieplnej, niskiej rozszerzalności cieplnej i zdolności do niezawodnego wykonywania w chemicznie wrogich środowiskach. Krzemowy węglik w łopatkach wspornikowych może pomóc zmniejszyć wypaczenie termiczne

 i ruch, który utrzymuje wafle płasko i w nominalnej pozycji przetwarzania. Stabilność termiczna opłatek w kontekście łopatek wspornikowych jest ważna, aby zminimalizować problemy zanieczyszczenia cząstek i ruchu mechanicznego, szczególnie przy wytwarzaniu zaawansowanych urządzeń węzłowych. Problemy te mogą spowodować utratę wydajności lub kosztowną przeróbkę i wymianę płytek.

Monolityczna postać łopatek wspornikowych SIC poprawia wytrzymałość mechaniczną i jednorodność cieplną, jednocześnie eliminując połączenia i słabe punkty, które zwykle mogą istnieć w kompozytach. Ponadto wykończenie powierzchni łopatki jest specjalnie kontrolowane i ogólnie wypolerowane do najbliższej jakości lustra, aby zminimalizować wytwarzanie cząstek stałych i jest bardzo zgodne z klasą czystości.

W procesach dyfuzji i utleniania, które obejmują tlen, parę i inne gazo reaktywne; Materiały konwencjonalne mogą z czasem załatwić lub deformować. Warunkowa właściwość obojętności chemicznej SIC zapewnia, że łopatki nie będą wykryć, ani nie korodować i wprowadzić zanieczyszczenia procesowi ze względu na zastosowanie niestabilnych materiałów, przyczyniając się do bardziej stabilnego procesu i wiarygodnych wyników.  Integralność strukturalna łopatki wspornikowej SIC pozostaje stabilna pomimo szybkiego jazdy na rowerze ogrzewania i chłodzenia. Dlatego oferują długą żywotność obsługi operacyjnej z znacznie skróconym czasem konserwacji lub części wymiany części.

Ponadto zmniejszona masa i lekka masa łopatek SIC pozwalają na szybszą reakcję termiczną; W ten sposób umożliwiając szybsze czasy zwiększania termicznego i chłodzenia przyczyniające się do zwiększonej wydajności i efektywności energetycznej, wszystkie główne wskaźniki w konkurencyjnym krajobrazie produkcji półprzewodników.

Płynce wspornikowe SIC mogą być dostarczane w różnych konfiguracjach i rozmiarach, zaprojektowane i wyprodukowane w celu pomieszczenia różnych konstrukcji pieców i rozmiarów płytek od 100 mm do 300 mm i większych. Integratorzy producentów OEM i sprzętu doceniają spójność i niezawodność łopatek SIC w czasie, do wdrożeń zarówno w procesach front-end, jak i na zapleczu.

SemiCorex oferuje łopatki premium SIC wspornikowe z ścisłą kontrolą czystości materiału, mikrostruktury i tolerancji wymiarowych. Nasze zaawansowane możliwości procesu, w połączeniu z naszą wiedzą o dynamice termicznej półprzewodników, pozwalają nam wytwarzać łopatki z tymi atrybutami, które spełniają lub przekraczają standardy branżowe pod względem stabilności, czystości i trwałości. Kiedy musi być właściwe i niezawodne, SemiCoRex jest miejscem, w którym można znaleźć wysokiej jakości komponenty SIC.