Łodzie ceramiczne sic

Łodzie ceramiczne półkoliste są najnowocześniejszymi operatorami specjalnie zaprojektowanymi w celu bezpiecznego transportu, przechowywania i przetwarzania płytek półprzewodnikowych w najbardziej wymagających chemicznie i termicznie ekstremalnych środowiskach. Przemysł półprzewodnikowy szybko przyjął nowe standardy wydajności, które wymagały wiarygodnego, zaufania i bez zanieczyszczenia łodzi ceramicznych SIC.

Silna stabilność termiczna i siła

Definiującym atrybutem łodzi ceramicznych Sic jest jego bardzo wysoka stabilność termiczna. Łodzie ceramiczne SIC mogą wytrzymać temperaturę przekraczającą 1600 ° C bez utraty kształtu lub struktury podczas agresywnych procesów cyklicznych termicznych. Ze względu na ultra-niski współczynnik rozszerzania cieplnego łodzie ceramiczne SIC są mniej podatne na zniekształcenie i pękanie, co pozwala na ścisłe tolerancje i ogólne bezpieczeństwo opłat podczas obsługi w sztywnych warunkach.

Wysoka czystość i odporność chemiczna

Łodzie ceramiczne sic są wytwarzane z ultra-wysokiej czystości węgliku krzemowego. Łodzie ceramiczne SIC są również wysoce odporne na degradację chemiczną, żrącą i erozji osocza. Bezercyjny charakter sic ceramicznych łodzi oznacza procesy żrące, środowiska reaktywne, warunki kwaśne nie stanowiłyby albo zanieczyszczenia z łodzi, albo nic rozpuszczalnego w celu uszkodzenia procesu roboczego. Niekontraminująca powierzchnia sic ceramicznych łodzi nie umożliwia wytwarzania cząstek ani ługowania jonów, w ten sposób powierzchnia waflowa nie jest zagrożona przez zanieczyszczenia, które utrudniają wydajność lub wydajność urządzenia.

Precyzyjna inżynieria do bezpiecznego obsługi płytki

Łodzie ceramiczne SIC są wytwarzane w obrębie ciasnych tolerancji, co pozwala im obsłużyć płytki o różnych średnicach, w tym 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm i innych. Strukturalna konstrukcja łodzi SIC zapewnia doskonałą płaskość, równoległość i jednolity rozmiar szczeliny w celu utrzymania właściwej orientacji wąsania wafla i ochrony krawędzi płytki podczas przenoszenia do innego procesu lub narzędzia. Wszystkie łodzie SIC można zaprojektować z niestandardowymi wymiarami, aby pasowały do zestawu narzędzi lub spełniają dowolne specyfikacje automatyzacji.

Długi czas i bardziej opłacalny

SIC zastępuje tradycyjne materiały (kwarc, tlenk glinowy) znacznie lepszą wytrzymałością mechaniczną, wytrzymałość pęknięcia i odporność na wstrząsy termiczne. Ten poziom trwałości przekłada się na dłuższy okres życia przed „niepowodzeniem”, znacznie mniej zastępowania podczas pracy i niższy całkowity koszt własności. Spójność wydajności z trwałości SIC skróci czas i przyspieszy przepustowość na liniach produkcyjnych półprzewodnikowych.

Otwórz aplikacje w procesach półprzewodników

Łodzie ceramiczne SIC są szeroko stosowane w front-end półprzewodników, takich jak:

LPCVD i osadzanie PECVD

Utlenianie termiczne

Implantacja jonów

Wyżarzanie i dyfuzja

Czyszczenie i przetwarzanie chemiczne

SIC Ceramiczne uchwyty mają kompatybilne zastosowania przetwarzania zarówno w atmosferze, jak i próżni, co czyni go idealnym wyborem dla odlewni i FAB, które chcą zminimalizować i zmniejszyć ryzyko zanieczyszczenia przy jednoczesnym zwiększeniu wydajności.