Pierścienie ostrości SiC

Zaawansowane pierścienie ostrości SiC o wysokiej czystości Semicorex są zbudowane tak, aby wytrzymać ekstremalne warunki w komorach trawienia plazmowego (lub trawienia suchego). Koncentrujemy się na branżach półprzewodników, takich jak warstwy węglika krzemu i półprzewodniki epitaksyjne. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Semicorex dostarcza pierścienie ostrości SiC, które są naprawdę stabilne w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego. Pierścienie ostrości lub pierścienie krawędziowe SiC zostały zaprojektowane w celu poprawy równomierności trawienia wokół krawędzi lub obwodu płytki. Zminimalizuj zanieczyszczenie i nieplanowaną konserwację dzięki komponentom o wysokiej czystości zaprojektowanym z myślą o rygorystycznych warunkach trawienia plazmowego. Nasze pierścienie ostrości SiC z powłoką SiC to gęsta, odporna na zużycie powłoka z węglika krzemu (SiC). Ma wysokie właściwości antykorozyjne i żaroodporne, a także doskonałą przewodność cieplną. Nakładamy SiC cienkimi warstwami na grafit za pomocą procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).

Parametry pierścieni ostrości SiC

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy pierścieni ostrości SiC

- Powłoki CVD z węglika krzemu poprawiające żywotność.

- Izolacja termiczna wykonana z wysokowydajnego oczyszczonego sztywnego węgla.

- Grzejnik i płyta z kompozytu węglowego/węglowego. - Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.

- Grafit o wysokiej czystości i powłoka SiC zapewniająca odporność na dziury i dłuższą żywotność