Pręty grzejne SiC z elementem grzejnym SiC

Pręty SiC z włóknem grzejnym elementu grzejnego SiC stanowią szczyt technologii grzewczej, skrupulatnie zaprojektowanej tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania procesu produkcji półprzewodników. Ten innowacyjny element grzejny łączy w sobie wyjątkowe właściwości termiczne grafitu z wysoce wydajnymi właściwościami powłoki z węglika krzemu (SiC), tworząc w rezultacie niezastąpione narzędzie do precyzyjnej i wydajnej produkcji półprzewodników.

Aplikacje:

Pręty SiC z elementem grzejnym Semicorex SiC znajdują niezastąpione zastosowanie w różnych krytycznych procesach produkcji półprzewodników:

Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD): umożliwia kontrolowane osadzanie cienkich warstw na podłożach, niezbędne do tworzenia skomplikowanych wzorów obwodów i struktur urządzeń.

Wyżarzanie i dyfuzja: Ułatwianie kontrolowanej obróbki cieplnej w celu poprawy właściwości materiału i stworzenia precyzyjnych profili domieszkujących w podłożach półprzewodnikowych.

Utlenianie i trawienie: Wspomaganie kontrolowanych procesów utleniania i trawienia niezbędnych do izolacji urządzeń, tworzenia wzajemnych połączeń i modyfikacji powierzchni.

Wzrost kryształów: Zapewnia idealne środowisko termiczne dla wzrostu epitaksjalnego, w wyniku czego powstają wysokiej jakości warstwy krystaliczne o określonej orientacji kryształów.