Rury pieca poziomego SIC

Poziome rury piecowe SICsą niezbędnymi nośnikami systemu pieca, zwykle umieszczanymi w obszarze ogrzewania rdzenia w urządzeniach do produkcji półprzewodników lub urządzeniach do produkcji fotowoltaiki. Współpracują one z elementami grzejnymi, systemami kontroli temperatury, systemami kontroli gazu i łódkami waflowymi, tworząc kompletny system pieca.

W rzeczywistej pracy poziome rury pieca SIC są podgrzewane przez elementy grzejne, które równomiernie przekazują ciepło do rur pieca dzięki doskonałej przewodności cieplnej materiałów z węglika krzemu. W międzyczasie do rury pieca wprowadzane są określone gazy procesowe (takie jak tlen, azot, gazy domieszkowe itp.). Pod wpływem tej wysokotemperaturowej atmosfery gazowej materiały półprzewodnikowe wewnątrz pieca ulegną reakcjom chemicznym lub zmianom fizycznym, ostatecznie prowadząc do modyfikacji materiału, domieszkowania lub optymalizacji strukturalnej.

Poziome rury pieca SIC firmy Semicorex zapewniają niezwykłą wytrzymałość mechaniczną i twardość, co odgrywa znaczącą rolę w zastosowaniach związanych z obsługą i przetwarzaniem płytek o dużej objętości. Poziome rury pieca SIC są w stanie zapewnić stabilne podparcie płytek w procesach obróbki cieplnej, takich jak utlenianie, dyfuzja i wyżarzanie, zapewniając, że płytki znajdują się we właściwej pozycji podczas obróbki w wysokiej temperaturze i unikają przemieszczenia lub deformacji spowodowanej naprężeniami termicznymi.

Poziome rury piecowe SIC firmy Semicorex są produkowane z materiału o wysokiej czystościceramika z węglika krzemuo bardzo niskiej zawartości zanieczyszczeń, a następnie osadzanie CVDpowłoka z węglika krzemuna ich powierzchni. Ta metoda produkcji dodaje warstwę ochronną do poziomych rur pieca SIC, co umożliwia im stabilną pracę w wymagających środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjności w czasie. Ta odporność na korozję poziomych rur pieca SIC poprawia wydajność produkcji płytek półprzewodnikowych, skutecznie obniżając ryzyko uszkodzenia elementów spowodowanego korozją i zmniejszając potrzebę częstych wymian i konserwacji.

Dzięki tak wielu doskonałym właściwościom, poziome rury piecowe SIC firmy Semicorex są szeroko stosowane w wielu wysokotemperaturowych procesach przetwarzania w przemyśle fotowoltaicznym i półprzewodników, takich jak proces utleniania, proces dyfuzji, proces wyżarzania i chemiczne osadzanie z fazy gazowej pod niskim ciśnieniem.