Rurka utleniania SIC

Rurka utleniania półkorowego SIC jest zbudowana z ceramiki węgla silikonowego o dużej czystości zaprojektowanej do procesów utleniania, dyfuzji lub wyżarzania zwykle wykonywanych w 1600 ° C. W ramach pieca SIC, poziomego lub pionowego jest to kontrolowane środowisko, w którym podgrzewane są płytki podczas utleniania. Funkcją rurki utleniania polega na zapewnieniu czystego, jednolitego i stabilnego środowiska do termicznego obróbki krzemowych węglików (SIC) w wytwarzaniu urządzeń zasilających i półprzewodników szerokokątnych pasm, jako otworzenie stałego potencjalnego procesu utleniania, rurka utleniania działa jako zużywalka do pierwszego zastosowania. Podczas gdy rurki kwarcowe i tlenku glinu często rozpadają się z czasem poprzez dewitryfikację, wypaczanie lub rozpad chemiczny, krzemowy węgiel ma wyjątkową trwałość w stosunku do szoku termicznego, wzmacnianiu właściwości mechanicznych i bezwładności chemicznej. Czynniki te dają węgliku krzemu jako doskonałą opcję dla rur utleniania w środowiskach o wysokiej niezawodności, wysokiej przepustowości.

Stosując zaawansowane formy formowania, takie jak nacisk na zimno i bez ciśnienia spiekania (lub rekrystalizację), SemiCorex wytwarza rurki utleniania SIC, które mają gęstą, gazową i jednorodną mikrostrukturę. Zapewnia to siłę bez ryzyka porowatości, umożliwiając proces utleniania bez zanieczyszczenia. SIC ma bardzo wysoką przewodność cieplną, umożliwiając jednolity rozkład termiczny do strefy obciążenia opłat, a tym samym zmniejszając gradienty cieplne, które mogą powodować wypaczone wafle lub wady. Odporność rurki na kwasy, zasady i gazy reaktywne zapobiegają niechcianym interakcjom chemicznym z powierzchnią opłat i przez środowisko pieca.

Nie pełni, nie deformuje. Rurka nie trzeba wymieniać po kilku cyklach produkcji-jest to długoterminowe środowiska cykliczne termiczne, które w przeciwnym razie zniszczyłyby mniejsze materiały. Dlatego żadne przerwy o wysokiej częstotliwości nie oznaczają niskich kosztów operacyjnych, co utrzymuje przepływ procesu bez żadnych zakłóceń. Zmniejsza to również ryzyko zanieczyszczenia, które mogą z łatwością obniżyć wydajność wydajności w urządzeniach półprzewodnikowych nowej generacji, w których odgrywają kluczowa rolę. SemiCorex wytwarza zarówno standardowe, jak i w pełni dostosowane wymiary rurki dla każdej zastosowanej platformy pieca i przepisu. Wewnętrzna i zewnętrzna średnica, długość, grubość ściany i wykończenie powierzchni to wszystkie parametry, które mogą wymagać regulacji w celu zaspokojenia różnych specyficznych potrzeb termicznych i mechanicznych; Od pieców badawczo-rozwojowych w skali laboratoryjnej po duże linie produkcyjne-w każdym przypadku, w którym rurka wymaga obróbki, czyszczenia i kontroli, aby zagwarantować wydajność.

Kontrola jakości zaczyna się od kontroli wymiarów, testów gęstości materiału i sprawdzania niezawodności cyklu termicznego dla każdej pojedynczej rurki utleniania SIC. Silny system identyfikowalności materiału rejestruje produkt od swojego surowego proszku do końcowej kontroli. Tego rodzaju jakość daje klientom stałą rękę w długoterminowej stabilności i odtwarzalności naszych rur utleniania SIC.

Wybierz Semicorex i zdobądź partnera u dostawcy, który łączy zaawansowaną inżynierię ceramiczną z szeroką kontrolą procesu i responsywną wsparcie techniczne, współpracując od samego początku. Dowiadujemy się o twoim konkretnym środowisku pieca, wymaganiach procesowych i wyzwaniach związanych z integracją, abyśmy mogli zaoferować Ci spersonalizowane rozwiązania, które poprawiają wyniki procesu, a także czas aktualizacji narzędzi.

Rurka utleniania SemiCorex zapewnia najlepszą możliwą wydajność termiczną przy stabilności chemicznej i wytrzymałości mechanicznej. Staje się sercem dowolnego systemu przetwarzania SIC o wysokiej temperaturze, zapewniając jednolite środowisko termiczne podczas utleniania i wyżarzania zaawansowanych materiałów półprzewodnikowych. Dla producentów, którzy wymagają, aby komponenty pieca są niezawodne, czyste i długotrwałe, SemiCoRex będzie wyborem produktu wspieranym przez wiedzę i doświadczenie, a także standard dostarczania nic najlepszego.