Rurki sic

Rury półkolisowe są częściami ceramicznymi dla systemów pieców półprzewodnikowych.  Mają unikalne właściwości, które obejmują wysoką transmisję termiczną oraz oporność w wysokiej temperaturze i chemiczną wymaganą w zastosowaniach półprzewodnikowych, w których występują ekstremalne warunki o wysokiej temperaturze i chemiczne, które są oczekiwane i gdzie właściwości są pożądane - trwałość, efektywność energetyczna i unikalne stabilne warunki procesu - które pozwalają na zastosowanie ekonomiczne w zaawansowanym środowisku półprzewodników.

Rury SEMICOREX SIC używają drobnego ziarnaKrzemowy węglikWyprodukowane jest to, że ma wyjątkową stabilność mechaniczną o wysokiej temperaturze w wyniku zaawansowanych metod i technik i technik rekrystalizacji. Umożliwienie wysokowydajnego SIC powoduje wyjątkową wytrzymałość mechaniczną i zatrzymanie stabilności termicznej w wysokich temperaturach roboczych. SIC ma wyjątkową twardość, która łagodzi zużycie lub potencjalne deformacja.  Ponadto atrybuty związane z właściwościami SIC są niskie współczynniki rozszerzania cieplnego o niskim paliwo są korzystne, ponieważ ograniczają naprężenie termiczne, ponieważ będą wymagania dotyczące jazdy na rowerze tego materiału między ekstremalnym i niskim ciepłem działającym. We wszystkich tych rozważaniach mają one specjalne użyteczność do idealnych zastosowań w piecach dyfuzyjnych, piecach utleniania i systemach LPCVD/PECVD, aby utrzymać maksymalne stabilne warunki procesowe, aby wyeliminować lub ograniczać defekty, które są również wskaźnikami związanymi z opłatą lub materiałem o wysoce stabilnych, nawet warunkach procesu.

Kolejnym ważnym użytecznością rur SIC są wysokie profile przewodzenia termicznego w określonych warunkach i odpowiednie projekty pieca w celu uzyskania wysokich wskaźników przewodzącego i, co najważniejsze, równomierne i stały rozkład temperatury w całym procesie.  To niezawodne zachowanie pozwala na wystawienie płytek na pół-równe rozkłady temperatury w rozsądnych odstępach czasu i dodatkowo w celu ograniczenia gradientów termicznych w celu złagodzenia płaskiego dna zniekształconego i/lub zdenerwowanych wafli, jednocześnie poprawiając więcej równych warunków osadzania folii.

Stabilność chemiczna i opór są kolejnym ważnym czynnikiem wydajności.  W procesach półprzewodnikowych rurka pieca jest poddawana wpływowi wysoce reaktywnych gazów, w tym tlenu, wodoru, amoniaku i wszystkich halogenów, które mogą szybko degradować konwencjonalne materiały. Gęsta i nieporowata mikrostruktura, wraz z chemicznie bezwładnym charakterem SIC, chroni ją przed utlenianiem i korozją przy jednoczesnym zapewnieniu wydajności operacyjnej i mechanicznej w ekstremalnym środowisku procesu.  Trwałość pieców SIC pomaga im utrzymać integralność formy i dokładności wymiarów przez długi czas, co jest ważne dla kontroli procesu i stabilności.

Rury SIC mogą być wytwarzane w szerokiej gamie rozmiarów i grubości ściany, ukształtowane geometrycznie w celu dopasowania projektów i potrzeb procesowych.  Dokładne precyzyjne charakterystyki obróbki są również utrzymywane podczas projektowania i produkcji rur SIC, dzięki czemu tolerancje operacyjne mogą być ciasne, z gładkimi powierzchniami wewnętrznymi i doskonałą koncentrycznością, aby utrzymać równowagę przepływu laminarnego gazu i jednolitych profili termicznych. Polerowanie powierzchniowe i powłoki można zapewnić jako opcje obróbki, które zwiększą wydajność poprzez zmniejszenie wytwarzania cząstek i poprawę odporności na korozję.

Rury SIC mają wyraźne zalety operacyjne i kosztowe w porównaniu z alternatywnymi materiałami, takimi jak rurki kwarcowe lub tlenku glinu.  Początkowy koszt komponentów SIC może być nieco wyższy, ale żywotność produktu, zmniejszenie pęknięcia i niższe wymagania dotyczące utrzymania powodują całkowity koszt posiadania, co jest niższe niż alternatywne materiały i rury.

Podsumowując, SemicorexSicRury są najlepszą opcją do zastosowań w piecu półprzewodnikowym, ponieważ zapewniają najlepszą wydajność termiczną, siłę mechaniczną, odporność chemiczną i niezawodność wymagających środowisk produkcyjnych. Materiał ten poprawia stabilność procesu i pomaga w oszczędnościach i wydajności kosztów na drodze (tj. Niższe zużycie energii). Rury SIC są fundamentalnym materiałem do nowoczesnego wytwarzania półprzewodników.