Sic Robot Hands

Ręce SEMICOREX SIC są najnowszymi w efektach końcowych zaprojektowanych do aplikacji transferowych wafla robotyki w dziedzinie produkcji półprzewodnikowej. Wykonani z materiałów o wysokiej wydajności, zaprojektowaliśmy te robotyczne dłonie ceramiką z węglika krzemu (SIC), aby zapewnić maksymalną tabelę termiczną, stabilność chemiczną i wytrzymałość mechaniczną dla coraz trudniejszego środowiska wytwarzania lub obsługi opłat.

Centralny dla naszych rąk robota SIC jest nasz zastrzeżony zaawansowanyKrzemowy węglikZnany z wysokiej twardości (MOHS 9), wysokiej przewodności cieplnej i odporności na korozję. W przeciwieństwie do tradycyjnych materiałów, takich jak aluminium lub stal nierdzewna, SIC jest kompatybilny z surowym środowiskiem przetwarzania półprzewodnikowych sal przez czystych, w tym przetworzonych wysokich temperatur i gazów reaktywnych. Oferujemy długoterminową trwałość i minimalizujemy zanieczyszczenie, zgodnie z ścisłą czystością wymaganą do produkcji opłat.

Sprzęt półprzewodnikowy z rękami robota SIC wykorzystuje ssanie podciśnienia, tj. Wafel półprzewodnikowy jest adsorbowany na kwarcu lub palcu ceramicznym przy użyciu zasady kubka ssącego, a następnie transportu za pomocą mechanicznego ramienia działającego rozciągającego się odpowiednio, rotacji i podnoszenia.

„Duchowa” i „czystość” są podstawowymi cechami sprzętu do obsługi płytek półprzewodników. Aby spełnić te cechy, sprzęt ma niezwykle rygorystyczne wymagania dotyczące wydajności używanych komponentów. Ponieważ większość procesów jest przeprowadzana w środowisku próżni, wysokiej temperatury i żrące, ramię obsługi stosowane w sprzęcie musi mieć doskonałe właściwości fizyczne, takie jak: wysoka wytrzymałość mechaniczna, odporność na korozję, oporność w wysokiej temperaturze, odporność na zużycie, wysoka twardość, izolacja itp., A zaawansowane materiały ceramiczne mogą po prostu spełniać te warunki.

Ceramika z węglików krzemowychMają fizyczne właściwości gęstej tekstury, wysoką twardość, wysoką odporność na zużycie, a także dobrą odporność na ciepło, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, dobrą izolację w środowisku wysokiej temperatury, dobrą odporność na korozję i inne właściwości fizyczne. Jest to doskonały materiał do robienia ramion obsługi sprzętu półprzewodnikowego.

Uznając, że platformy robotyczne różnią się w zależności od FAB i producentów narzędzi, nasze ręce SIC Robot są dostępne w różnych standardowych rozmiarach i mogą być dostosowywane do unikalnych konfiguracji narzędzi. Montażowe interfejsy, geometrie palców i funkcje obsługi opłat można dostosować, aby zaspokoić określone potrzeby sprzętu i procesów. Niezależnie od tego, czy przenosisz płytki w narzędziach klastrów, komorach próżniowych czy systemach FOUP, nasz robot ręka bezproblemowo integruje się z wiodącymi markami robotyki.

Każdy ręczny robot SIC przechodzi rygorystyczne procedury czyszczenia, kontroli i pakowania, aby zapewnić zgodność ze standardami pomieszczenia czystego klasy 1. Nieporła, przeciwstatyczna powierzchnia SIC zmniejsza adhezję cząstek, podczas gdy solidna struktura odpowiada mikrofrakcjom, które mogą prowadzić do wytwarzania cząstek w czasie. To sprawia, że idealnie nadają się do procesów płytek z przodu, w których nawet najmniejsze zanieczyszczenie może prowadzić do awarii urządzenia.

Od implantacji epitaxy i jonów po PVD, CVD i CMP, ręce robota SIC są zaufane na każdym etapie wytwarzania urządzeń półprzewodnikowych. Ich doskonała odporność na wstrząsy termiczne i środowiska plazmowe sprawia, że są one niezbędne w zaawansowanych liniach półprzewodników logicznych i mocy, szczególnie tam, gdzie stosuje się podłoża opłat SIC.