Rurki sic

Rurki SEMICOREX SIC (rurki SIC Furnace) są składnikami premium mocno stosowanymi w przemyśle półprzewodnikowym ze względu na ich idealną stabilność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i ekstremalną odporność na agresywne chemikalia w różnych zastosowaniach. Rurki SIC SIC zostały zaprojektowane w celu przetrwania najbardziej trudnych warunków związanych z przetwarzaniem w wysokiej temperaturze. Rurki SIC są wyraźnie preferowanym i doskonałym materiałem do pieców dyfuzyjnych, systemów LPCVD/PECVD oraz w środowiskach stosowanych do wzrostu epitaxialnego, w których kluczowe są zanieczyszczenie materiału i różnica termiczna.

Rurki SEMICOREX SIC są wytwarzane z ultra-wysokiej czystości proszków SIC z wykorzystaniem zaawansowanych metodologii spiekania i technik kontroli procesu, które zachowują czystość SIC. W rezultacie rurki SIC mają optymalną przewodność cieplną, niską charakterystykę rozszerzania cieplnego i mają masy rozłożone wzdłuż długości rurki, skutecznie minimalizując naprężenie termiczne, nawet gdy są narażone na szybki cykl termiczny. Zatem wykorzystanie rur SIC zapewnia wysokie szacunek w trakcie ciągłych procesów o wysokiej temperaturze (do 1600 ° C)-zapewniając w ten sposób jednolitość w procesach produkcyjnych półprzewodników, zwiększając ogólną wydajność spójnych skal.

Główną zaletą SIC jest to, że jest chemicznie obojętny. SIC jest praktycznie nieporowaty (zgodny z ocenianiem GP-4 ASTM-G654) i niezrównany, jeśli chodzi o oporowe gazowe korozyjne i reaktywne chemikalia stosowane w rozwoju półprzewodników, w tym HCL, NH₃, Sih₄ itp. Widać również, że rurki kwarcowe będą degradować i deformować zużycie w agresywnej atmosferze w agresywnej atmosferze w agresywnej atmosferze. Stabilność i rosnący czas obsługi, jednocześnie minimalizując spowolnienie przepustowości związane ze zmianami rur i wymiany. Kluczowe korzyści dla produkcji półprzewodników są jasne; Korzystanie z rur SIC może zmniejszyć całkowity zasięg kosztu własności o tygodnie lub nawet miesiące przy jednoczesnym zachowaniu niezawodności w odniesieniu do procesów przemysłowych.

Rurki SEMICOREX SIC są dostępne w wielu średnicach, długościach i niestandardowych specyfikacjach, aby pomieścić różne projekty pieców i wymagania dotyczące przetwarzania. Wewnętrzne powierzchnie można wypolerować, co poprawia czystość, zmniejsza wytwarzanie cząstek i jest ważnym szczegółem w ultra czyszczących przestrzeniach półprzewodników. Zastosowanie rur SIC SIC może pomóc zmniejszyć ryzyko zanieczyszczenia i przyczynia się do zwiększenia plonów opłatek o ścisłych tolerancjach i lepszej jakości powierzchni.

Specjalizacja SEMICOREX SIC obejmuje lata przetwarzania węglików krzemowych, koncentrując się na precyzyjnej inżynierii i kontroli jakości, aby spełnić rygorystyczne i wymagające standardy jakości przemysłu półprzewodników. Nasze rurki są testowane i zatwierdzone z inspekcjami, które są kluczowe dla zapewnienia czystości, gęstości i wykonywania w najbardziej ekstremalnych środowiskach termicznych. SemiCorex zapewnia również wsparcie techniczne i niestandardowe opcje projektowania, które pomogą w optymalizacji systemu pieca do określonych aplikacji.

Niezależnie od tego, czy produkcja układów logicznych, urządzeń zasilających czy optoelektroniki, rurki SEMICOREX SIC stanowią niezawodną, trwałą opcję przetwarzania w wysokiej temperaturze. Wybierając Semicorex, nie tylko zapewniasz wydajność, ale długoterminowy stabilny, wydajny proces wytwarzania półprzewodników.