SIC Pionowe łodzie

Pionowe łodzie SICOREX SIC to zaprojektowane przewoźniki opłat, zaprojektowane i wyprodukowane w celu zapewnienia najwyższej stabilności termicznej, mechanicznej i chemicznej do przetwarzania półprzewodnikowego pieca pionowego. Zbudowany z wysokiej czystościKrzemowy węglik, uważamy, że są to najlepsza równowaga siły, trwałości i czystości dla bardzo zaawansowanego przetwarzania termicznego płytki, odnotowane jako utlenianie, dyfuzja, LPCVD i wyżarzanie w pionowych systemach pieca.

Pionowe środowiska przetwarzania pieca wymagają systemu wsparcia opłat, który może wytrzymać wielokrotne ekspozycje w wysokiej temperaturze, często przekraczające 1200 ° C, i pozostać stabilnym o wymiarach bez problemów z zanieczyszczeniem. SIC pionowe łodzie wyróżniają się w ich solidności w tych sytuacjach ze względu na wewnętrzne właściwości mechaniczne i termiczne rekrystalizowanego lub krzemowego węgliku CVD. Ich wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej zapewnia minimalne wypaczenie lub zniekształcenie z powodu szybkiego cyklu termicznego. Ponadto wysoka przewodność cieplna oferuje największą lokalną jednorodność temperatury we wszystkich waflach, co ma kluczowe znaczenie dla konsystencji wafel-do walki w grubości warstwy, profilach domieszkowania i wydajności elektrycznej; Ważne aspekty produkcji o dużej objętości w przemyśle półprzewodników.

W porównaniu z tradycyjnymi łodziami kwarcowymi, łodzie pionowe SIC zapewniają lepszą siłę mechaniczną i dłuższą żywotność usług. Kwarc z czasem staje się krucha i dewitrify, szczególnie w agresywnych chemii pieca, co prowadzi do wyższych kosztów wymiany i potencjalnych przerw w produkcji. W przeciwieństwie do tego, węglik krzemu utrzymuje swoją integralność, nawet po przedłużającej się ekspozycji na gazy korozyjne, takie jak chlor, HCL lub amoniak, które są powszechne w różnych procesach dyfuzji i LPCVD. Jego wyjątkowa odporność na zużycie i utlenianie znacznie zmniejsza wytwarzanie cząstek, pomagając chronić powierzchnie płytki przed zanieczyszczeniem i tworzeniem wad.

SIC Pionowe łodzie zapewniają również znaczącą korzyść pod względem ultra czyszczącego przetwarzania. Materiał SIC o dużej czystości jest przetwarzany przy ścisłej staranności w celu zmniejszenia możliwych do zidentyfikowania śladowych metali zanieczyszczających, które mogą zakłócać charakterystykę operacyjną urządzeń półprzewodnikowych. SIC pionowe powierzchnie łodzi są dobrze wykończone z prawem cechami, które minimalizują ryzyko zrzucania mikro-cząstek. Powierzchnie SIC są chemicznie obojętne i nie reagują z gazami procesowymi, a zatem są mniej podatne na zanieczyszczenie. Pod tym względem łodzie pionowe SIC dobrze nadają się do przedniej części linii (FEOL) i zaplecza operacji przetwarzania linii (Beol).

SIC Pionowe łodzie oferują również elastyczność projektowania. Każda pionowa łódź może być specyficzna dla projektu, aby pomieścić wiele średnic waflowych (150 mm, 200 mm lub 300 mM waflów), a numer szczeliny i odstępy można wykorzystać w celu spełnienia wymagań procesu. Precyzyjne obróbka i kontrola wymiarowa umożliwiają prawidłowe wyrównanie płytki i obsługę wafla minimalizujące prawdopodobieństwo wszelkich mikro-szarców lub pęknięć naprężeń podczas ładowania, przetwarzania i rozładunku. Ponadto, jeśli do określonego procesu wymagana jest lepsza jednorodność temperatury i / lub mniejsza masa termiczna, zoptymalizowane geometrie i projekty gniazd mogą być włączone do konfiguracji pionowych łodzi SIC, bez poświęcania żadnych właściwości mechanicznych.

Kolejną zaletą jest konserwacja i wydajność operacyjna. Sztywna budowaSicPionowe łodzie skracają czas wymiany i częstotliwość, minimalizując w ten sposób przestoje lub koszt własności. Odporność na wstrząs termiczny SIC pozwala krótszemu cyklom ogrzewania i chłodzenia w celu zapewnienia wyższej przepustowości na liniach produkcyjnych. Konserwacja lub czyszczenie pionowych łodzi SIC jest również bardzo proste; Materiał może znosić najbardziej konwencjonalne procesy czyszczenia na mokro lub sucha, powszechne w FAB półprzewodników, takich jak czyszczenie chemiczne kwasami i wypiedzenie wysokiej temperatury.

W tym współczesnym wieku wyrafinowanego półprzewodnikowego produkcji, w której poprawa plonów, kontrola zanieczyszczenia i stabilność w tym procesie mają znaczenie, łodzie pionowe SIC zapewniają prawdziwą przewagę technologiczną. Dobrze radzą sobie z fizycznymi i chemicznymi wyzwaniami związanymi z zastosowaniem pionowego pieca i przyczyniają się do ogólnej optymalizacji procesu poprzez zapewnienie integralności waek, spójnych wyników i dłuższego okresu żywotności sprzętu.