Kaseta waflowa SiC

Kaseta waflowa Semicorex SiC, znana również jako łódka waflowa, została opracowana specjalnie do operacji utleniania, dyfuzji i wyżarzania w temperaturach przekraczających 1200°C. Kasety zapewniają znaczne wsparcie mechaniczne, a także wyrównanie wielu płytek jednocześnie podczas pracy w piecu wysokotemperaturowym, a także wykazują doskonałą stabilność mechaniczną i wymiarową podczas naprężenia termicznego i po nim.  Zapotrzebowanie na ultraczyste i stabilne termicznie materiały do ​​systemów transportu płytek rośnie wraz ze zmniejszaniem się rozmiarów urządzeń półprzewodnikowych i wzrostem ich wydajności.

Kaseta wykonana jest z wysokiej czystościwęglik krzemuistnieją również powłoki, które można zastosować, aby uzyskać jeszcze większe korzyści. SiC charakteryzuje się doskonałą odpornością na szok termiczny, korozję i odkształcenia wymiarowe.  SiC ma wyjątkową twardość, obojętność chemiczną i przewodność cieplną, dzięki czemu jest idealnym materiałem dla tego środowiska procesowego. SiC w porównaniu z alternatywami kwarcu i tlenku glinu nie zmniejszy swoich właściwości mechanicznych i chemicznych w wysokich temperaturach przetwarzania, zmniejszając w ten sposób ryzyko zanieczyszczenia i poprawiając jednorodność procesu wytwarzania płytek półprzewodnikowych.

Ultrawysoka czystość kasety z płytkami SiC wykazuje odporność na zanieczyszczenia metaliczne lub jonowe przedostające się do komory procesowej; coś, co jest absolutnie niezbędne dla zapewnienia wysokiej czystości, aby spełnić wymagania procesowe dla zaawansowanych procesów wytwarzania półprzewodników. Minimalizując źródła zanieczyszczeń, kasety z węglika krzemu zwiększą wydajność płytek i niezawodność urządzenia.

Technologia precyzyjnej obróbki Semicorex pozwala na produkcję każdej kasety z wąskimi tolerancjami, jednolitym odstępem szczelin i równoległym ustawieniem. Precyzyjna obróbka materiałów umożliwia płynny załadunek i rozładunek płytek, co zmniejsza ryzyko zarysowań podczas przenoszenia płytek. Precyzyjne rozmieszczenie szczelin pozwala na jednakową temperaturę i przepływ powietrza we wszystkich płytkach, co sprzyja równomierności utleniania i dyfuzji, jednocześnie zmniejszając zmienność procesu.

SiC ma doskonałą przewodność cieplną, stabilność wymiarową i zapewnia niezawodne działanie w powtarzających się cyklach termicznych. Materiał jest stabilny, nie wypacza się ani nie pęka; jego wysoka sztywność utrzymuje integralność strukturalną w wysokiej temperaturze przez długi czas, znacznie zmniejszając naprężenia mechaniczne płytek, ograniczając jednocześnie prawdopodobieństwo powstania niepożądanych cząstek podczas obsługi w wyniku tarcia lub mikrowibracji.

Ponadto,SiCobojętność wobec substancji chemicznych chroni płytki przed reakcją na gazy procesowe (np. tlen, wodór, amoniak) zwykle występujące podczas przetwarzania. Kasety waflowe są stabilne w atmosferze utleniającej i nieutleniającej i można je włączyć do przepływu pracy pieca w ramach szeregu procesów, takich jak utlenianie, dyfuzja, LPCVD i wyżarzanie.

Aby spełnić specyficzne wymagania procesu, Semicorex oferuje dostosowane kasety waflowe SiC w różnych rozmiarach, liczbie szczelin i konfiguracjach. Każda jednostka przechodzi rygorystyczną kontrolę jakości i obróbkę powierzchni, aby zapewnić gładkość, czystość i dokładność wymiarową. Opcjonalne polerowanie powierzchni dodatkowo ogranicza wytwarzanie cząstek i zwiększa kompatybilność z zautomatyzowanymi systemami obsługi płytek.