Łodzie z węglików silikonowych

Łodzie z węglików krzemowych półkorowych wykazują wyjątkową stabilność termiczną, umożliwiając im wytrzymanie ekstremalnych temperatur wymaganych do procesów utleniania i dyfuzji. Ich doskonała odporność na wstrząsy termiczne minimalizuje ryzyko pękania lub deformacji, zapewniając długotrwałość operacyjną. Skład SIC o wysokiej gęstości zapewnia doskonałą wytrzymałość mechaniczną, utrzymując integralność strukturalną nawet przy ciągłym cyklu termicznym. Ta wyjątkowa odporność na naprężenie mechaniczne zmniejsza prawdopodobieństwo zanieczyszczenia i pęknięcia opłat, przyczynia się do wyższych wydajności procesu. Ponadto łodzie SIC mają wyjątkową odporność chemiczną, pozostając obojętne dla agresywnych gazów procesowych stosowanych w etapach utleniania i dyfuzji. Ta charakterystyka zapobiega niepożądanym reakcjom, które mogłyby zagrozić czystości i wydajności produkcji.

Łodzie z węglików krzemionowych są wykorzystywane przede wszystkim w piecach utleniania i dyfuzyjnych, gdzie niezbędna jest precyzyjna kontrola ekspozycji na płytki na wysokie temperatury i gazów reaktywnych. Wspierają wafle podczas utleniania cieplnego w celu wyhodowania wysokiej jakości warstw dwutlenku krzemu i ułatwiają jednolite domieszkowania poprzez kontrolowane narażenie na gazy domieszkowane. Ponadto zapewniają stabilną platformę do wyżarzania i inne zabiegi w wysokiej temperaturze, które wymagają przedłużonej ekspozycji na ciepło.

W porównaniu z tradycyjnymi łodziami kwarcowymi i grafitowymi łodzie z węglików krzemowych oferują niezrównaną trwałość, długowieczność i wydajność. Ich zdolność do wytrzymywania trudnych środowisk termicznych i chemicznych przy jednoczesnym zminimalizowaniu zanieczyszczenia czyni je preferowanym wyborem do produkcji półprzewodników precyzyjnych. Koncentrując się na jakości i innowacjach, nasze krzemowe łodzie z węglikami zapewniają doskonałą wydajność, zapewniając wysokie plony i wydajne przetwarzanie płytek dla producentów półprzewodnikowych na całym świecie. Niezależnie od tego, czy w przypadku zaawansowanych technologii węzłów, czy starszych produktów półprzewodnikowych, łodzie te stanowią niezawodne rozwiązanie spełniające rygorystyczne wymagania branżowe.

(1) Przenoszenie i ochrona: łodzie z węglików krzemowych przenoszą materiały półprzewodników, takie jak płytki przez wsporniki wewnętrzne lub szczeliny, oraz wykorzystują oporność na wysoką temperaturę i korozję materiałów z węglika krzemu, aby chronić płytki przed środowiskiem zewnętrznym.

(2) Jednolite ogrzewanie: Łódź z węglików krzemowych umożliwia równomierne podgrzanie płytek w środku podczas procesu oczyszczania cieplnego. Pomaga to zapewnić, że temperatura i szybkość reakcji każdej części płytki pozostają spójne podczas procesu obróbki cieplnej, poprawiając w ten sposób wydajność i jakość wafla.

Obecnie istnieją trzy główne typyKrzemowa ceramika z węglików krzemowychMateriały: spiekanie reakcji, spiekanie bez nacisków i rekrystalizacja spiekania. W większości zastosowań spiekany krzem z reakcji jest bardziej odpowiednim i opłacalnym produktem. Rekrystalizowane łodzie SIC zwykle spiekają się i najpierw przetwarzają kilka części jednostkowych, a następnie użyj pasty SI do połączenia części w łódź w wysokiej temperaturze, a na koniec zastosuj powłokę CVD-SIC (około 100um). Ponieważ rekrystalizacja jest porowata, jeśli nie ma powłoki SIC, wprowadzi również partics do procesu półprzewodnikowego. Ten rodzaj rekrystalizowanej łodzi SIC z powłoką CVD-SIC ma najdłuższy proces produkcyjny i jest bardzo drogi. W porównaniu z łodziami grafitowymi pokrytych SIC, rekrystalizowane łodzie SIC powlekane CVD nie mają problemu z niedopasowaniem CTE.