Łodzie kasetowe z węglika krzemu

Półcorexłodzie kasetowe z węglika krzemuto niezbędne elementy nośne, dzięki swojej stabilnej i bardzo wytrzymałej konstrukcji, bezpiecznie i precyzyjnie trzymają, przenoszą i obsługują wiele płytek półprzewodnikowych. Są szeroko stosowane w różnych wysokotemperaturowych procesach półprzewodnikowych, aby zapewnić optymalną dystrybucję ciepła i przepływu gazu, co pozwala uzyskać spójne wyniki przetwarzania.

Starannie dobrany surowiec

Precyzyjnie wykonane z proszku węglika krzemu klasy półprzewodnikowej poprzez spiekanie w wysokiej temperaturze, łodzie kasetowe Semicorex z węglika krzemu posiadają następujące doskonałe właściwości.

1. Bardzo wysoka czystość:Zawartość zanieczyszczeń w podłożu jest kontrolowana tak, aby była niższa niż 100 PPM, a poziom zanieczyszczeńWęglik krzemu CVDpowłoka może osiągnąć mniej niż 1 PPM.

2. Niezawodna odporność na korozję:Ceramika z węglika krzemu zapewnia dużą odporność na korozję i jest odporna na korozję powodowaną przez większość kwasów (takich jak kwas solny, kwas siarkowy i kwas fluorowodorowy), zasady (takie jak soda kaustyczna), rozpuszczalniki i media utleniające.

3. Wyjątkowa zdolność zarządzania ciepłem:Dzięki wyjątkowej odporności termicznej i niskiemu współczynnikowi rozszerzalności cieplnej łodzie kasetowe z węglika krzemu mogą zachować swoje właściwości chemiczne i wytrzymałość mechaniczną nawet wtedy, gdy są wystawione na długotrwałe warunki pracy w wysokiej temperaturze około 1250 °C.

Precyzyjnie zaprojektowana konstrukcja

1. Pozioma konstrukcja ramy:Pozioma konstrukcja ramowa łodzi kasetowych Semicorex z węglika krzemu sprawia, że ​​idealnie pasują one do poziomych rur pieców wysokotemperaturowych.

2. Równomiernie rozmieszczone wycięcia:Wyposażone w liczne równomiernie rozmieszczone nacięcia, łódki kasetowe Semicorex z węglika krzemu mogą mocno utrzymać płytkę na miejscu, co może znacznie zapobiec niepożądanym zadrapaniom, otarciom i uszkodzeniom wynikającym z przemieszczania płytki, skutecznie zapewniając w ten sposób stabilność procesu półprzewodników i wydajność płytki.

3. Konstrukcja z wieloma gniazdami:Wiele szczelin zaprojektowanych do przenoszenia wielu płytek umożliwia łódkom kasetowym Semicorex z węglika krzemu poprawę przepustowości przetwarzania pojedynczej partii i ogólnej wydajności produkcji.

4. Otwarta architektura:Łodzie kasetowe Semicorex z węglika krzemu są wyposażone w przemyślaną otwartą architekturę, która może pomóc w uzyskaniu równomiernej dystrybucji gazu i wystarczającego kontaktu reakcyjnego, co w ten sposób skutecznie minimalizuje niespójne wyniki procesu.