Ceramika z węglika krzemułopatki są zwykle instalowane w pobliżu otworu pieca lub komory procesowej, przy czym jeden koniec jest nieruchomy, a drugi koniec sięga do pieca lub komory procesowej. Podczas przetwarzania operacyjnego łopatki ceramiczne z węglika krzemu precyzyjnie ustawiają nośnik płytek przenoszący płytki w wyznaczonym miejscu wewnątrz pieca lub komory procesowej. Po przetworzeniu, wspornikowe łopatki pobierają nośnik, usuwają go z pieca lub komory i przekazują do ramienia robota w celu następnego etapu obsługi.

Zalety łyżek ceramicznych Semicorex z węglika krzemu

1. Doskonałe właściwości i niezawodna jakość

Ceramiczne łopatki Semicorex z węglika krzemu zapewniają doskonałą stabilność w wysokich temperaturach, wysoką wytrzymałość, wysoką twardość, stabilność chemiczną i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej. Dzięki tym doskonałym właściwościom, ceramiczne łopatki Semicorex z węglika krzemu mogą przez długi czas wytrzymać trudne warunki pracy, takie jak wysokie temperatury, silna korozja, duże obciążenia i częste operacje mechaniczne.

2. Precyzyjne podparcie i transport

Polegając na doskonałych właściwościach wspierających i transportowych, Semicorexłopatki ceramiczne z węglika krzemumoże dokładnie zamocować nośniki płytek na miejscu, aby zapewnić koncentryczność płytek względem rur pieca, co znacznie zmniejsza niespójność procesu spowodowaną wstrząsaniem płytek i niewspółosiowością podczas procesu.

3. Wysoce wydajna zautomatyzowana praca

Ceramiczne łopatki Semicorex z węglika krzemu zazwyczaj współpracują z automatycznymi, zautomatyzowanymi systemami ładowania i przenoszenia, aby zapewnić szybki załadunek i rozładunek płytek. To znacznie skraca cykle procesowe w produkcji półprzewodników i fotowoltaiki, poprawia wydajność produkcji oraz zmniejsza koszty operacji ręcznych i ryzyko błędów.

Zastosowania łyżek ceramicznych z węglika krzemu Semicorex

1. Produkcja ogniw fotowoltaicznych

Ceramiczne łopatki Semicorex z węglika krzemu doskonale nadają się do procesów termicznych ogniw fotowoltaicznych, takich jak dyfuzja, LPCVD i PECVD w ogniwach TOPCon i PERC. Osiągając jednorodność i stabilność procesu, łopatki te przyczyniają się do poprawy wydajności konwersji ogniw fotowoltaicznych.

2. Produkcja chipów półprzewodnikowych

Będąc podstawowymi elementami podtrzymującymi i transportującymi, ceramiczne łopatki z węglika krzemu Semicorex są szeroko stosowane w procesach takich jak litografia, trawienie i osadzanie podczas produkcji chipów półprzewodnikowych, umożliwiając stale stabilny transfer i precyzyjne pozycjonowanie płytek.