Łódki ceramiczne z węglika krzemu

Wybór materiałów premium

Doskonałe właściwości ceramiki z węglika krzemu Semicorexłodzie waflowesą zasługą wysokiej jakości surowców. Wykonane z półprzewodnikowego materiału SiSiC i pokryte powłoką CVD SiC, ceramiczne łódki waflowe z węglika krzemu wykazują następujące doskonałe właściwości.

1. Bardzo wysoka czystość, wolna od uwalniania zanieczyszczeń metalicznych

Zanieczyszczenie podłoża: <100 ppm

Zanieczyszczenie powłoki CVD SiC: <1 ppm

2. Doskonała stabilność termiczna

Łodzie z płytek ceramicznych z węglika krzemu są w stanie pracować stabilnie w warunkach wysokiej temperatury 1250 ℃, zapewniając minimalne odkształcenia i odporność na pełzanie.

3. Wysoka wytrzymałość mechaniczna

Węglik krzemuposiada wysoką twardość i odporność na zużycie, dzięki czemu ceramiczne łódki waflowe Semicorex z węglika krzemu są odporne na zadrapania, otarcia i uszkodzenia, dzięki czemu dobrze sprawdzają się podczas długotrwałej pracy i są odporne na uszkodzenia.

4. Wyjątkowa odporność na korozję

Ponieważ węglik krzemu jest odporny na korozję powodowaną przez silne kwasy i zasady, ceramiczne łódki waflowe Semicorex z węglika krzemu mogą zachować integralność strukturalną i parametry funkcjonalne nawet w wysoce korozyjnych warunkach pracy.

Zoptymalizowany projekt konstrukcyjny

Łódki ceramiczne z węglika krzemu Semicorex są przeznaczone do przetwarzania wafli wsadowych, a ich zoptymalizowana konstrukcja zapewnia stabilne podparcie wafli wsadowych i stałą stabilność procesu dla każdego wafla.

Pionowa konstrukcja nośna na 1,3 słupku

Pionowa konstrukcja ceramicznych łódek waflowych Semicorex z węglika krzemu umożliwia ich bezproblemowe dopasowanie do zastosowań w piecach pionowych. Dzięki tej strukturze ceramiczne łódki waflowe emicorex z węglika krzemu mogą ułatwiać jednorodną cyrkulację gazów procesowych i równomierny rozkład energii cieplnej w piecu wysokotemperaturowym.

2. Równomiernie rozłożone zaciski szczelinowe

Ceramiczne łódki waflowe Semicorex z węglika krzemu są wyposażone w wiele precyzyjnie wykonanych szczelin na słupkach wsporczych. Ich równomiernie rozmieszczone zaciski szczelinowe umożliwiają uzyskanie odpowiedniego odstępu między szczelinami, co umożliwia łódkom ceramicznym z węglika krzemu pewne mocowanie płytek półprzewodnikowych, przyczyniając się w ten sposób do poprawy spójności wyników obróbki termicznej płytek.

Dzięki tak wielu doskonałym parametrom i funkcjom, ceramiczne łodzie waflowe Semicorex z węglika krzemu są szeroko stosowane w podstawowych procesach produkcji płytek półprzewodnikowych, takich jak utlenianie, dyfuzja, implantacja jonów i wyżarzanie w wysokiej temperaturze.