Powłoka SiC to cienka warstwa na susceptorze w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Materiał z węglika krzemu ma wiele zalet w porównaniu z krzemem, w tym 10-krotnie większe natężenie pola elektrycznego przebicia, 3-krotnie większe pasmo wzbronione, co zapewnia materiałowi wysoką temperaturę i odporność chemiczną, doskonałą odporność na zużycie oraz przewodność cieplną.
Semicorex zapewnia usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, pomaga wprowadzać innowacje w zakresie komponentów, które wytrzymają dłużej, skracają czasy cykli i poprawiają wydajność.
Powłoka SiC ma kilka unikalnych zalet
Odporność na wysoką temperaturę: Susceptor pokryty CVD SiC może wytrzymać wysokie temperatury do 1600°C bez znaczącej degradacji termicznej.
Odporność chemiczna: Powłoka z węglika krzemu zapewnia doskonałą odporność na szeroką gamę substancji chemicznych, w tym kwasy, zasady i rozpuszczalniki organiczne.
Odporność na zużycie: Powłoka SiC zapewnia materiałowi doskonałą odporność na zużycie, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużego zużycia.
Przewodność cieplna: Powłoka CVD SiC zapewnia materiałowi wysoką przewodność cieplną, dzięki czemu nadaje się do stosowania w zastosowaniach wysokotemperaturowych, które wymagają wydajnego przenoszenia ciepła.
Wysoka wytrzymałość i sztywność: Susceptor pokryty węglikiem krzemu zapewnia materiałowi dużą wytrzymałość i sztywność, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużej wytrzymałości mechanicznej.
Powłoka SiC jest stosowana w różnych zastosowaniach
Produkcja diod LED: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w produkcji różnych typów diod LED, w tym diod LED niebieskich i zielonych, diod LED UV i diod LED głębokiego UV, ze względu na wysoką przewodność cieplną i odporność chemiczną.
Komunikacja mobilna: Susceptor pokryty CVD SiC jest kluczową częścią HEMT niezbędną do zakończenia procesu epitaksjalnego GaN-na-SiC.
Obróbka półprzewodników: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w przemyśle półprzewodników do różnych zastosowań, w tym do przetwarzania płytek i wzrostu epitaksjalnego.
Elementy grafitowe pokryte SiC
Powłoka wykonana z grafitu z powłoką z węglika krzemu (SiC) jest nakładana metodą CVD na określone gatunki grafitu o dużej gęstości, dzięki czemu może pracować w piecu wysokotemperaturowym o temperaturze ponad 3000°C w atmosferze obojętnej i 2200°C w próżni .
Specjalne właściwości i niewielka masa materiału umożliwiają szybkie nagrzewanie, równomierny rozkład temperatury i wyjątkową precyzję sterowania.
Dane materiałowe powłoki Semicorex SiC
Typowe właściwości |
Jednostki |
Wartości |
Struktura |
|
Faza β FCC |
Orientacja |
Frakcja (%) |
Preferowane 111 |
Gęstość nasypowa |
g/cm3 |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Rozszerzalność cieplna 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Wnioski Susceptor pokryty CVD SiC jest materiałem kompozytowym łączącym w sobie właściwości susceptora i węglika krzemu. Materiał ten posiada unikalne właściwości, w tym odporność na wysoką temperaturę i chemikalia, doskonałą odporność na zużycie, wysoką przewodność cieplną oraz wysoką wytrzymałość i sztywność. Te właściwości sprawiają, że jest to atrakcyjny materiał do różnych zastosowań wysokotemperaturowych, w tym do obróbki półprzewodników, obróbki chemicznej, obróbki cieplnej, produkcji ogniw słonecznych i produkcji diod LED.
Części drugiej połowy Semicorex do dolnych przegród w procesie epitaksjalnym, skrupulatnie zaprojektowane komponenty zaprojektowane, aby zrewolucjonizować wydajność urządzeń półprzewodnikowych. Te półcylindryczne łączniki, specjalnie dostosowane do układu dolotowego reaktorów LPE, odgrywają kluczową rolę we wzmacnianiu procesu wzrostu epitaksjalnego. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePółczęści Semicorex do sprzętu epitaksjalnego SiC to zaawansowany materiał o wysokiej czystości stosowany w obróbce półprzewodników. To kluczowe urządzenie odgrywa kluczową rolę w procesie epitaksji płytek SiC. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex CVD SiC Coated Graphite Susceptor to specjalistyczne narzędzie stosowane do przenoszenia i przetwarzania płytek półprzewodnikowych. Susceptor odgrywa kluczową rolę w ułatwianiu wzrostu cienkich warstw, warstw epitaksjalnych i innych powłok na podłożach z precyzyjną kontrolą temperatury i właściwości materiału. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor naleśnikowy Semicorex do procesu epitaksjalnego wafli to baza grafitowa o wysokiej czystości pokryta powłoką CVD SiC. Nasz wspornik naleśnikowy do procesu epitaksjalnego wafli ma dobrą przewagę cenową i obejmuje większość rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex dostarcza wysokiej jakości grafitową podstawkę do naleśników pokrytą CVD SiC. Od wielu lat jesteśmy producentem i dostawcą materiałów grafitowych. Nasz grafitowy naleśnik z powłoką CVD SiC ma dobrą przewagę cenową i obejmuje większość rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor grafitowy Semicorex zaprojektowany specjalnie dla sprzętu epitaksyjnego o wysokiej odporności na ciepło i korozję w Chinach. Nasze susceptory do podłoża GaN-on-SiC mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie