Powłoka SiC to cienka warstwa na susceptorze w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Materiał z węglika krzemu ma wiele zalet w porównaniu z krzemem, w tym 10-krotnie większe natężenie pola elektrycznego przebicia, 3-krotnie większe pasmo wzbronione, co zapewnia materiałowi wysoką temperaturę i odporność chemiczną, doskonałą odporność na zużycie oraz przewodność cieplną.
Semicorex zapewnia usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, pomaga wprowadzać innowacje w zakresie komponentów, które wytrzymają dłużej, skracają czasy cykli i poprawiają wydajność.
Powłoka SiC ma kilka unikalnych zalet
Odporność na wysoką temperaturę: Susceptor pokryty CVD SiC może wytrzymać wysokie temperatury do 1600°C bez znaczącej degradacji termicznej.
Odporność chemiczna: Powłoka z węglika krzemu zapewnia doskonałą odporność na szeroką gamę substancji chemicznych, w tym kwasy, zasady i rozpuszczalniki organiczne.
Odporność na zużycie: Powłoka SiC zapewnia materiałowi doskonałą odporność na zużycie, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużego zużycia.
Przewodność cieplna: Powłoka CVD SiC zapewnia materiałowi wysoką przewodność cieplną, dzięki czemu nadaje się do stosowania w zastosowaniach wysokotemperaturowych, które wymagają wydajnego przenoszenia ciepła.
Wysoka wytrzymałość i sztywność: Susceptor pokryty węglikiem krzemu zapewnia materiałowi dużą wytrzymałość i sztywność, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużej wytrzymałości mechanicznej.
Powłoka SiC jest stosowana w różnych zastosowaniach
Produkcja diod LED: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w produkcji różnych typów diod LED, w tym diod LED niebieskich i zielonych, diod LED UV i diod LED głębokiego UV, ze względu na wysoką przewodność cieplną i odporność chemiczną.
Komunikacja mobilna: Susceptor pokryty CVD SiC jest kluczową częścią HEMT niezbędną do zakończenia procesu epitaksjalnego GaN-na-SiC.
Obróbka półprzewodników: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w przemyśle półprzewodników do różnych zastosowań, w tym do przetwarzania płytek i wzrostu epitaksjalnego.
Elementy grafitowe pokryte SiC
Powłoka wykonana z grafitu z powłoką z węglika krzemu (SiC) jest nakładana metodą CVD na określone gatunki grafitu o dużej gęstości, dzięki czemu może pracować w piecu wysokotemperaturowym o temperaturze ponad 3000°C w atmosferze obojętnej i 2200°C w próżni .
Specjalne właściwości i niewielka masa materiału umożliwiają szybkie nagrzewanie, równomierny rozkład temperatury i wyjątkową precyzję sterowania.
Dane materiałowe powłoki Semicorex SiC
Typowe właściwości |
Jednostki |
Wartości |
Struktura |
|
Faza β FCC |
Orientacja |
Frakcja (%) |
Preferowane 111 |
Gęstość nasypowa |
g/cm3 |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Rozszerzalność cieplna 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Wnioski Susceptor pokryty CVD SiC jest materiałem kompozytowym łączącym w sobie właściwości susceptora i węglika krzemu. Materiał ten posiada unikalne właściwości, w tym odporność na wysoką temperaturę i chemikalia, doskonałą odporność na zużycie, wysoką przewodność cieplną oraz wysoką wytrzymałość i sztywność. Te właściwości sprawiają, że jest to atrakcyjny materiał do różnych zastosowań wysokotemperaturowych, w tym do obróbki półprzewodników, obróbki chemicznej, obróbki cieplnej, produkcji ogniw słonecznych i produkcji diod LED.
Semicorex LPE Part to element pokryty SiC, zaprojektowany specjalnie do procesu epitaksji SiC, oferujący wyjątkową stabilność termiczną i odporność chemiczną, aby zapewnić wydajną pracę w wysokich temperaturach i trudnych warunkach. Wybierając produkty Semicorex, zyskujesz precyzyjne, trwałe, niestandardowe rozwiązania, które optymalizują proces wzrostu epitaksji SiC i zwiększają wydajność produkcji.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex SiC Coating Flat Susceptor to wysokowydajny uchwyt podłoża przeznaczony do precyzyjnego wzrostu epitaksjalnego w produkcji półprzewodników. Wybierz Semicorex, aby uzyskać niezawodne, trwałe i wysokiej jakości susceptory, które zwiększają wydajność i precyzję procesów CVD.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex SiC Coating Pancake Susceptor to wysokowydajny komponent przeznaczony do stosowania w systemach MOCVD, zapewniający optymalną dystrybucję ciepła i zwiększoną trwałość podczas wzrostu warstwy epitaksjalnej. Wybierz Semicorex ze względu na jego precyzyjnie zaprojektowane produkty, które zapewniają najwyższą jakość, niezawodność i dłuższą żywotność, dostosowane do unikalnych wymagań produkcji półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień Semicorex RTP to pierścień grafitowy pokryty SiC, przeznaczony do zastosowań o wysokiej wydajności w systemach szybkiego przetwarzania termicznego (RTP). Wybierz Semicorex ze względu na naszą zaawansowaną technologię materiałową, zapewniającą wyjątkową trwałość, precyzję i niezawodność w produkcji półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor epitaksjalny Semicorex z powłoką SiC został zaprojektowany do podpierania i utrzymywania płytek SiC podczas procesu wzrostu epitaksjalnego, zapewniając precyzję i jednorodność w produkcji półprzewodników. Wybierz Semicorex ze względu na jego wysokiej jakości, trwałe i konfigurowalne produkty, które spełniają rygorystyczne wymagania zaawansowanych zastosowań półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex SiC Coated Waferholder to wysokowydajny komponent przeznaczony do precyzyjnego umieszczania i obsługi płytek SiC podczas procesów epitaksji. Wybierz Semicorex ze względu na jego zaangażowanie w dostarczanie zaawansowanych, niezawodnych materiałów, które zwiększają wydajność i jakość produkcji półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie