Krzemowa próżnia z węglikiem krzemowym

Semicorex silikonowa próżniowa odkurzacz jest ważną częścią produkcji półprzewodników dla procesów wymagających wysokiej precyzji i niskiego zanieczyszczenia. Próżniowe chucki są wytwarzane z porowatej ceramiki węgla krzemowego o dużej czystości i zapewniają doskonałą wytrzymałość mechaniczną, przewodność cieplną i bezwładność chemiczną i ma dokładnie kontrolowaną strukturę porów dla niezawodnej retencji próżniowej. Krzemowa próżnia z węglikiem krzemu jest funkcjonalnym urządzeniem adsorpcyjnym wykonanym z materiału ceramicznego z węglika krzemu (SIC), który polega na podciśnieniu podciśnieniowym, adsorpcji elektrostatycznej lub mechanicznym zacisku, aby zapewnić stabilne uchwycie przedmiotu obrabianego. Próżniowe uchwyty stosowały się w półprzewodnikach, fotowoltaikach, precyzyjnym produkcji i innych zastosowaniach, które mają niezwykle wysokie zapotrzebowanie na materiał w wysokiej temperaturze, odporność na zużycie i czystość.

Podstawacmokaniejest porowatym materiałem SIC, który ma przewidywalną permeanię powietrza na jego powierzchni. Oznacza to, że możliwe jest bezpieczne adsorbowanie wafla bez mechanicznego zacisku, a tym samym zmyślenia potencjału uszkodzenia fizycznego lub zanieczyszczenia próbki. Porowatość materiału jest ściśle kontrolowana - zwykle o porowatości 35–40% - w celu zapewnienia odpowiedniego rozkładu próżniowego, ale także spełniającego wymagania strukturalne w zakresie trwałego cyklicznego i mechanicznego cyklu.

Prucnicze waflowesą zwykle wykonane z twardej powierzchni z wieloma małymi otworami lub kanałami na powierzchni. Przez te małe otwory chuck można podłączyć do pompy próżniowej, co powoduje efekt próżniowy. Gdy wafel jest umieszczony na Chucku, pompa próżniowa jest włączona, a powietrze jest rysowane przez małe otwory, tworząc próżnię między opłatą a Chuckiem. Ten efekt próżniowy tworzy wystarczającą ssanie, aby mocno przymocować opłatę do powierzchni Chucka.

Powierzchnie ceramiczne są często stosowane w zastosowaniach wymagających wysokiej czystości i stabilności chemicznej. Ceramika to materiały wytwarzane przez fuzję minerałów w wysokiej temperaturze. Ogólnie rzecz biorąc, ceramika są izolatorami elektrycznymi lub półprzewodnikami i mają wysoką odporność na rozkład termiczny, erozję i uszkodzenie.

SemiCoRex buduje niestandardowe krzemowa próżniowa odkurzacz do specyfikacji klienta dla takich rzeczy, jak wymiary, porowatość, wykończenie powierzchni i wzory do kanału próżniowego. W wyniku naszych możliwości produkcyjnych i czystego pomieszczenia oferujemy najlepsze w niskim zrzucaniu cząstek stałych i czystości, aby dostosować wymagania dotyczące czystości wszystkich półprzewodnikowych Fabs i producentów sprzętu.

Możemy zrobić chuck dla opłatek dowolnej rozmiaru, od 2 do 12-calowego płytki i dostosowywać się do zintegrowania Chucka do mnóstwa sprzętu do przetwarzania wafla. Może być stosowany do procesów front-end i/lub procesów zaplecza, dzięki czemu próżni SIC jest ekonomicznym, precyzyjnym, stabilnym i wolnym od zanieczyszczenia środki wsparcia opłat w półprzewodnikowym przepływu pracy.

Krzemowa próżnia z węglików krzemowych jest niezbędnym narzędziem w dzisiejszej produkcji półprzewodników, łącząc najlepsze materiały i inżynierię. Trwałość i przylegająca niezawodność poprzez ekstremalne i chemiczne ekstremalne, czyni go idealnym wsparciem w zastosowaniach procesowych, które obejmują, woskowanie, przerzedzenie, czyszczenie i RTA. Poprzez zdobycie krzemowego odkurzacza z węglikiem krzemowym przez Semicorex zapewniasz najlepszą czystość materiału, niestandardowe rozwiązania i niezawodną wydajność dla doskonałych wyników we wszystkich liniach przetwarzania opłat.