Inżynierowie Semicorex opracowują ceramikę półprzewodnikową do narzędzi do półfabrykacji OEM i elementów do obsługi płytek półprzewodnikowych. Nasza łódź waflowa z węglika krzemu ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Łódka waflowa z węglika krzemu firmy Semicorex, charakteryzująca się wyjątkowo wysoką czystością (do 99,99%), doskonałą odpornością na plazmę i ciepło oraz ograniczoną liczbą cząstek, jest stosowana w częściach urządzeń do przetwarzania półprzewodników, w tym elementach konstrukcyjnych i narzędziach.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu wysokiej jakości, opłacalnych łodzi waflowych z węglika krzemu, stawiamy na pierwszym miejscu satysfakcję klienta i zapewniamy opłacalne rozwiązania. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty wysokiej jakości i wyjątkową obsługę klienta.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszej łodzi waflowej z węglika krzemu.
Parametry łodzi waflowej z węglika krzemu
Właściwości techniczne |
||||
Indeks |
Jednostka |
Wartość |
||
Nazwa materiału |
Reakcja Spiekany Węglik Krzemu |
Bezciśnieniowy spiekany węglik krzemu |
Rekrystalizowany węglik krzemu |
|
Kompozycja |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Gęstość nasypowa |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Wytrzymałość na zginanie |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Wytrzymałość na ściskanie |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Twardość |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Łamanie wytrzymałości |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Przewodność cieplna |
W/mk |
95 |
120 |
23 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Ciepło właściwe |
Dżul/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maksymalna temperatura powietrza |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Moduł sprężystości |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Różnica między SSiC a RBSiC:
1. Proces spiekania jest inny. RBSiC ma infiltrować wolny Si do węglika krzemu w niskiej temperaturze, SSiC powstaje w wyniku naturalnego skurczu w temperaturze 2100 stopni.
2. SSiC ma gładszą powierzchnię, większą gęstość i większą wytrzymałość, w przypadku niektórych uszczelnień o bardziej rygorystycznych wymaganiach dotyczących powierzchni SSiC będzie lepszy.
3. Inny czas użytkowania w różnych PH i temperaturach, SSiC jest dłuższy niż RBSiC
Cechy łodzi waflowej z węglika krzemu
Doskonała odporność na ciepło i jednorodność termiczna
Powłoka z drobnego kryształu SiC zapewnia gładką powierzchnię
Wysoka odporność na czyszczenie chemiczne
Materiał został zaprojektowany tak, aby nie dochodziło do pęknięć i rozwarstwień.