Pierścienie do trawienia silikonu

Krzemowe pierścienie trawiące są podstawowymi elementami komory trawienia plazmowego urządzeń do trawienia CCP/ICP i zazwyczaj są umieszczane wokół płytki półprzewodnikowej. Ich podstawowymi funkcjami jest wspieranie płytki półprzewodnikowej, utrzymanie równomiernego rozkładu plazmy, ochrona krawędzi płytki, a tym samym pomoc w stworzeniu optymalnych warunków pracy dla procesu trawienia plazmowego.

Zalety silikonowych pierścieni trawiących Semicorex

1. Wybór materiałów premium

Silikonowe pierścienie trawiące Semicorex są produkowane ze starannie wyselekcjonowanego MCZ o wysokiej czystościkrzem monokrystaliczny, który oferuje następujące doskonałe właściwości w porównaniu z konwencjonalnym krzemem monokrystalicznym CZ.

Wysoka czystość: Czystość wynosi ponad 99,9999999%, co oznacza, że ​​silikonowe pierścienie trawiące Semicorex nie zawierają prawie żadnych zanieczyszczeń. Ta wyjątkowo wysoka czystość pozwala skutecznie uniknąć zakłóceń powodowanych przez zanieczyszczenia komponentów podczas procesu trawienia, gwarantując w ten sposób wysoką precyzję trawienia.

Stabilna konstrukcja: Krzem monokrystaliczny MCZ charakteryzuje się doskonałą strukturą krystaliczną z mniejszą liczbą defektów niż konwencjonalny krzem monokrystaliczny CZ. Ta stabilna struktura krystaliczna zapewnia krzemowym pierścieniom trawiącym Semicorex zwiększoną odporność na korozję plazmową i pozwala im wytrzymać trudne warunki pracy podczas trawienia.

Doskonała jednorodność rezystywności:Silikonowe pierścienie trawiące Semicorexzapewniają wyjątkową jednorodność rezystancji przy RRG < 5%. Niska rozdzielczość (<0,02 Ω·cm), średnia rozdz. (0,2–25 Ω·cm), wysoka rozdzielczość (>100 Ω·cm). Ta doskonała jednorodność rezystywności może zminimalizować nierównomierny rozkład plazmy spowodowany zbyt wysoką lub niską opornością, co przyczynia się do idealnego pola elektrycznego do precyzyjnego trawienia plazmowego.

2. Precyzyjne przetwarzanie i ścisła kontrola jakości

Semicorex może poszczycić się doświadczonym zespołem technicznym, który może zapewnić spersonalizowane dostosowanie i oceny techniczne dla naszych cenionych klientów, a także ustanowił systematyczne procedury przetwarzania i kontroli w celu zagwarantowania jakości produktu.

Elastyczne usługi dostosowywania: Semicorex obsługuje dostosowywanie w oparciu o rysunki klienta, a maksymalna niestandardowa średnica silikonowych pierścieni trawiących może wynosić do 470 mm.

Obróbka powierzchni na wysokim poziomie: Precyzję polerowania można ściśle kontrolować w zakresie Ra < 0,1 µm, a szlifowanie dokładne pozwala uzyskać wykończenie powierzchni Ra > 0,1 µm.

Ścisła kontrola jakości: Pomiar wymiarów, badanie rezystywności i kontrola wizualna zostaną przeprowadzone, aby upewnić się, że silikonowe pierścienie trawiące są wolne od wiórów, zadrapań, pęknięć, plam i innych wad.