Jednokrystaliczna, silikonowa głowica prysznicowa

Monokrystaliczny krzem Semicorexgłowica prysznicowawykazuje wyjątkową odporność na korozję, niski współczynnik rozszerzalności i doskonałą przewodność cieplną. Solidnie dostosowując się do trudnych warunków wysokiej temperatury, wysokiej korozyjności i wysokiej próżni w produkcji półprzewodników, wykazuje wyjątkową tolerancję na gazy technologiczne, takie jak gazy trawiące i osadzające. Dlatego monokrystaliczna głowica prysznicowa z krzemu jest szeroko stosowana w procesach czyszczenia półprzewodników, procesach utleniania, procesach osadzania i procesach trawienia.

Semicorex wykorzystuje zaawansowane techniki obróbki powierzchni, aby zapewnić, że powierzchnia monokrystalicznej, krzemowej głowicy prysznicowej charakteryzuje się zarówno wyjątkowo wysoką płaskością, jak i gładkością. Tymczasem, opierając się na znormalizowanym projekcie struktury kanału i ścieżki gazu, powierzchnia monokrystalicznej głowicy prysznicowej z krzemu jest równomiernie rozłożona z wieloma porami o tej samej średnicy (minimalna średnica może osiągnąć 0,2 milimetra). Tolerancja średnicy porów głowicy prysznicowej z monokrystalicznego krzemu jest precyzyjnie kontrolowana na poziomie mikrometru, a wewnętrzna ściana porów musi być gładka i wolna od zadziorów, zapewniając dokładność dystrybucji i jednorodność gazu procesowego pod względem konstrukcyjnym i procesowym.

Semicorex świadczy specjalistyczne usługi dostosowywania do różnych potrzeb klientów. W zależności od różnych potrzeb swoich klientów może dostosować rozwiązania wyglądu do wymiarów i kształtu komór reakcyjnych. Zoptymalizowana konstrukcja umożliwia płytkom pełny i stały kontakt z gazem procesowym przez cały proces reakcji, gwarantując równomierne rozproszenie gazu w komorze reakcyjnej. Ostatecznie zwiększa to wydajność produkcji i jakość produktu.