Próżni chucks

SemiCorex próżniowe chucks to precyzyjne rozwiązania zaprojektowane w celu zapewnienia bezpiecznego, stabilnego i wydajnego obsługi płytek w procesach produkcyjnych półprzewodnikowych. Te przyczepy próżniowe są wykorzystywane głównie do przechowywania płytek podczas różnych etapów przetwarzania, zapewniające minimalne uszkodzenie płytek, maksymalną stabilność i zwiększoną wydajność procesu. Nasze próżniowe uchwyty są dostępne w różnych materiałach podstawowych i ceramicznych, oferując dostosowane rozwiązania w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb branży półprzewodnikowej i innych precyzyjnych branż.

Kluczowe funkcje i materiały

SemiCoREX oferuje szereg podstawowych opcji materiału dla próżniowego chucka, umożliwiając dostosowanie w oparciu o określone wymagania dotyczące aplikacji:

Materiały podstawowe:

• SUS430: Materiał podstawowy ze stali nierdzewnej znany ze swojej wytrzymałości i odporności na korozję, zapewniając doskonałą stabilność mechaniczną.
• Stop aluminium 6061: Lekka, ale silna, ta aluminiowa podstawa oferuje wysoką odporność na korozję i jest idealna do zastosowań, w których waga jest problemem.
• Alumina ceramiczna (99% tlenku glinu): oferuje wysoką stabilność termiczną i odporność na zużycie. Jest to doskonały wybór dla bardzo precyzyjnych środowisk, w których opór cieplny ma kluczowe znaczenie.
• Granit: Znany ze swojej sztywności i doskonałych właściwości tłumienia wibracji, granit oferuje doskonałą stabilność i precyzję podczas obsługi waflowej.
• Ceramika z węglika krzemu (SIC): oferuje wysoką twardość, przewodność cieplną i odporność na korozję chemiczną. Jest idealny do środowisk wysokotemperaturowych i agresywnych.

Płytki ceramiczne:

Alumina (AL₂O₃): Płytki tlenku glinu znane są z ich wysokich właściwości izolacyjnych elektrycznych, odporności na zużycie i stabilności wysokiej temperatury. Są odpowiednie do środowisk, w których minimalne zanieczyszczenie i wysoka wydajność są kluczowe.

Krzemowa węglika (SIC): SIC Ceramiczne płytki zapewniają wyjątkową twardość, wysoką przewodność cieplną i stabilność w podwyższonych temperaturach, co czyni je idealnymi do zaawansowanych procesów obsługi płytki w produkcji półprzewodników.

Precyzja płaskości i wybór materiału

Płaskliwość powierzchni Chucka jest kluczowym czynnikiem zapewniającym właściwe obsługę płytki i optymalne wyniki procesu. Wybór materiału wpływa na precyzję płaskości, a także całkowitą wagę i właściwości termiczne próżniowego chucka.

Precyzja płaskości:

Stop aluminium 6061: Zapewnia doskonałą płaskość z precyzją, co czyni go popularnym wyborem dla mniej wymagających zadań obsługi płytki.

SUS430: Oferując stałą stabilność mechaniczną, SUS430 ma nieco niższą precyzję płaskości niż stop aluminium.

Alumina ceramiczna (99% tlenku glinu): oferuje najlepszą precyzję płaskości ze względu na wysoką stabilność wymiarową w wysokich temperaturach i naprężeniu mechanicznym.

Granit: Znany ze swojej stabilności, granit zapewnia precyzyjną płaskość, szczególnie w środowiskach wrażliwych na wibracje.

Krzemowa ceramika z węglika: zapewnia wyjątkową precyzję płaskości i jest idealny do prowadzenia płytek w wysokiej temperaturze w zastosowaniach o wysokiej temperaturze.

Rozważania dotyczące wagi

Waga próżniowa jest kolejnym ważnym czynnikiem, szczególnie w przypadku zastosowań, w których łatwość obsługi i manipulacji Chucka jest kluczowym czynnikiem.